নকশা বৈশিষ্ট্য:
প্রযুক্তিগত বিবরণ:
1. আলটিমেট ভ্যাকুয়াম চাপ: 5.0 × 10 -6 Torr চেয়ে ভাল।
2. অপারেটিং ভ্যাকুয়াম চাপ: 1.0 × 10 -4 Torr।
3. সময় নিচে পাম্পিং: 1 এটিএম থেকে 1.0 × 10 -4 Torr≤3 মিনিট (রুম তাপমাত্রা, শুষ্ক, পরিষ্কার এবং খালি চেম্বার)
4. মেটালাইজিং উপাদান (বাষ্পীভবন): আল, ক্র, এসএন, টিআই, এসএস, সি ... ইত্যাদি
5. অপারেটিং মডেল: স্বয়ংক্রিয় স্বয়ংক্রিয়ভাবে / সেমি অটো / ম্যানুয়ালি
ভ্যাকুয়াম আবরণ মেশিন নীচে তালিকাভুক্ত কী সম্পন্ন সিস্টেম রয়েছে:
1. ভ্যাকুয়াম চেম্বার
1.1 আকার: অভ্যন্তর ব্যাস 1600mm
ভিতরের উচ্চতা: 1600 মিমি
1.2 উপাদান: ভ্যাকুয়াম চেম্বার SUS304 (বিকল্প জন্য SS41 হালকা ইস্পাত)
দরজা এবং flanges SUS304 (বিকল্প জন্য SS41 হালকা ইস্পাত)
চেম্বার জোরদার গঠন: পেইন্টেড সমাপ্তি পৃষ্ঠ চিকিত্সা সঙ্গে SS41 হালকা ইস্পাত ,.
পেইন্টেড সমাপ্তি পৃষ্ঠ চিকিত্সা সঙ্গে চেম্বার চ্যাসি SS41 হালকা ইস্পাত।
1.3 ইভাপোরেশন ঢাল: SUS304
1.4 উইন্ডো দেখুন: চেম্বারের দরজা
1.5 ভ্যাকুয়াম চেম্বার ভেন্টিং ভালভ (সিলেন্সার সহ)
1.6 দরজা: SUS304 উপাদান
2. রাউজিং ভ্যাকুয়াম পাম্পিং সিস্টেম (ব্যাকিং পাম্প প্যাকেজ)
3. উচ্চ ভ্যাকুয়াম পাম্পিং সিস্টেম (ডিফিউশন পাম্প + ঠান্ডা ফাঁদ ডিভাইস)
4. বৈদ্যুতিক নিয়ন্ত্রণ ও অপারেশন সিস্টেম - পিএলসি + টাচ স্ক্রিন
4.1 প্রধান সার্কিট: সিরিজ টাইপ মধ্যে কেউ-ফিউজ ব্রেকার সুইচ, ইলেক্ট্রোম্যাগনেটিক সুইচ, সি / টি
4.2 বাষ্প শক্তি: 35kVA
4.3 বাষ্প নিয়ন্ত্রণ কন্ট্রোল সিস্টেম
4.4 অপারেশন সিস্টেম: টাচ স্ক্রিন + পিএলসি, রেসিপি কন্ট্রোল এবং ডেটা লগিং, অটো শাটডাউন, স্বয়ংক্রিয় নির্বাসন, স্বয়ংক্রিয় লেপ
4.5 ভ্যাকুয়াম চাপ পরিমাপ সিস্টেম
ভ্যাকুয়াম গেজ: Pirani + পেনিং গেজ
থার্মোকুলেল গেজ: 760 Torr ~ 5 * 10 -4 Torr
4.6 অ্যালার্ম সিস্টেম: কম্প্রেসযুক্ত বায়ু চাপ, কুলিং জল প্রবাহ, মিস অপারেশন
4.7 পাওয়ার লোড সূচক: ভোল্টেজ সূচক এবং লোড বর্তমান সূচক
5 । ডিপোজিট সিস্টেম
5.1 Tungsten ফিলামেন্ট বাষ্পীভবন উৎস
5.2 তাপীয় বাষ্পীভবন উপকরণ: তারের, রিং, rods ইত্যাদি।
6. সাব সিস্টেম
6.1 এয়ার কম্প্রেসড ভালভ কন্ট্রোল সিস্টেম
6.2 কুলিং জল সিস্টেম: জল প্রবাহ পাইপ এবং সুইচ ভালভ সিস্টেম
6.3 পলিকোল্ড (-120 ~ -145 ℃) বিকল্প জন্য ব্রুকস Cryopump।
কম্প্রেস এয়ার: 5 ~ 8 কেজি / সেমি 2
শীতল জল: জল-তাপমাত্রা: 20 ~ 25 ℃, 200 লিটার / মিনিট,
জল-চাপ: 2 ~ 3 কেজি / সেমি 2,
পাওয়ার: 3 ফেজ 380V 50Hz (60Hz), 140kVA
ইনস্টলেশন এলাকা: (এল * ওয়া * এইচ) 6500 * 5500 * 2700 মিমি
নিষ্কাশন: যান্ত্রিক পাম্প জন্য ভেন্ট
অন্যান্য 2-ডোর উল্লম্ব ভ্যাকুয়াম Metallizing Equipmen টি মডেল:
মডেল | আকার (মিমি) | সাবস্টেট জগস (Qty।) | বাষ্প শক্তি (কেভিএ) | প্লাজমা (কেভিএ) | চক্রাকারে | বৈদ্যুতিক শক্তি |
RTEP1012 | Φ1000xH1200 | 6,8,10 | 20 | 7 | 10 '~ 15' পণ্য উপর নির্ভর করে | 3Phase / AC380V, 50HZ 3PH, 220 থেকে 440V, 60HZ |
RTEP1416 | Φ1400xH1600 | 6, 8,16 | 30 | 7 | ||
RTEP1418 | Φ1400xH1800 | 6,16 | 35 | 10 | ||
RTEP1616 | Φ1600xH1600 | 8.16 | 35 | 10 | ||
RTEP1618 | Φ1600xH1800 | 8.16 | 35 | 10 | ||
RTEP1820 | Φ1800xH2000 | 6 | 40 | 10 | ||
RTEP2022 | Φ2000xH2200 | 10,12,16 | 40 | 10 |