Ni PVD স্পুটারিং লেপ প্ল্যান্ট, Cr ভ্যাকুয়াম মেটালাইজিং সিস্টেম, Sn/Ag ভ্যাকুয়াম প্লেটিং সরঞ্জাম, কপার প্লেটিং প্ল্যান্ট

সরঞ্জাম কাঠামো:

RTAC1215-SP মেশিন একটি অক্টকাল টাইপ, যা ভ্যাকুয়াম পাম্প, ভ্যাকুয়াম চেম্বার যা 8টি আর্ক ক্যাথোড, 1টি রৈখিক আয়ন উৎস, 2টি ডিসি স্পুটারিং ক্যাথোড এবং 1 জোড়া এমএফ স্পাটারিং ক্যাথোডের সমন্বয়ে গঠিত।আয়ন উত্স, স্পুটারিং ক্যাথোড মাউন্ট করা ফ্ল্যাঞ্জগুলি স্ট্যান্ডাইজ করা হয় যা আসলে আবরণ প্রক্রিয়ার চাহিদার উপর ভিত্তি করে নমনীয়ভাবে বিনিময় করা যেতে পারে।

অ্যাপ্লিকেশন:

1. সিরামিক সিলিং যন্ত্রাংশ, ডিপিসি প্রক্রিয়া, কপার পিভিডি স্পুটারিং সিস্টেম, কুপার প্লেটিং সহ এলইডি সিরামিক চিপস, আলের জন্য ডিপিসি শিল্প₂ও₃, AlN সিরামিক সার্কিট বোর্ড, এলইডিতে Al2O3 প্লেট, সেমিকন্ডাক্টর

2. সিলভার, নি, ক্রোম, গোল্ড, অ্যালুমিনিয়াম, ইন, এসএন ইত্যাদি ধাতব ফিল্ম এবং TiN, TiAlN, TiC, TiO, CrC, CrCN, CrN ইত্যাদি।

সুবিধাদি:

1. খরচ দক্ষ উত্পাদন

2. ওয়ার্ক স্টেশনের মানবীকরণ (ওয়ার্ক স্টেশনের আর্গোনমিক ডিজাইন, স্থান কম করা, শব্দ এবং দুর্ঘটনার ঝুঁকি)

3. উচ্চ মানের ফলন.

4. শক্তিশালী হিটিং-আপ ডিভাইস এবং প্লাজমা উত্স পরিষ্কারের সাথে শক্তিশালী আনুগত্য;

5. কমপ্যাক্ট ডিজাইন এবং আপগ্রেডিং এবং রক্ষণাবেক্ষণ কাজের জন্য সহজ অ্যাক্সেস সহ।

6. সম্পূর্ণ অটোমেশন, PLC+টাচ স্ক্রিন, এক-টাচ কন্ট্রোল সিস্টেম।

7. কম শক্তি খরচ সঙ্গে উচ্চ দক্ষতা, সর্বোচ্চ.50% উৎপাদন খরচ সাশ্রয়।

প্রযুক্তিগত বিবরণ:

• কর্মক্ষমতা

1. চূড়ান্ত ভ্যাকুয়াম চাপ: 9.0*10 এর চেয়ে ভাল^-5পা;

• বেস ভ্যাকুয়াম চাপ: 3.0*10^-2পা

3. পাম্পিং ডাউন সময়: atm থেকে 1.0×10 পর্যন্ত^-3Pa≤15 মিনিট (ঘরের তাপমাত্রা, শুকনো, পরিষ্কার এবং খালি চেম্বার)

4. জমার উত্স: জেনকোয়া ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং ক্যাথোড, স্টিয়ারড আর্ক ক্যাথোড, আয়ন উত্স

5. অপারেটিং মডেল: সম্পূর্ণ স্বয়ংক্রিয়ভাবে/সেমি-অটো/ম্যানুয়ালি

6. গরম করা: ঘরের তাপমাত্রা থেকে সর্বোচ্চ পর্যন্ত।500℃,

9. PECVD এবং PA PVD প্রক্রিয়ার জন্য আয়ন উৎস।

• গঠন

ভ্যাকুয়াম লেপ মেশিনে নীচে তালিকাভুক্ত কী সম্পন্ন সিস্টেম রয়েছে:

1. ভ্যাকুয়াম চেম্বার
1.1 আকার: ভিতরের ব্যাস: 1200 মিমি

অভ্যন্তরীণ উচ্চতা: 1500 মিমি

1.2 উপাদান: ভ্যাকুয়াম চেম্বার SUS304

দরজা এবং flanges SUS304

চেম্বার গঠন শক্তিশালী: SS41 হালকা ইস্পাত, আঁকা সমাপ্তি পৃষ্ঠ চিকিত্সা সঙ্গে.

চেম্বার চ্যাসিস SS41 হালকা ইস্পাত আঁকা সমাপ্তি পৃষ্ঠ চিকিত্সা সঙ্গে.

1.3 চেম্বার শিল্ড: SUS304

1.4 উইন্ডো দেখুন: 2 দরজায়

1.5 ভ্যাকুয়াম চেম্বার ভেন্টিং ভালভ (সাইলেন্সার সহ)

1.6 দরজা: SUS304 উপাদান

2. রাফিং ভ্যাকুয়াম পাম্পিং সিস্টেম:
তেল রোটারি ভ্যান ভ্যাকুয়াম পাম্প + হোল্ডিং পাম্প

• উচ্চ ভ্যাকুয়াম পাম্পিং সিস্টেম:

চুম্বকীয়ভাবে সাসপেনশন মলিকুলার পাম্প - 2 সেট

4. বৈদ্যুতিক নিয়ন্ত্রণ এবং অপারেশন সিস্টেম- PLC+ টাচ স্ক্রিন অপারেশন সিস্টেম:

সরবরাহকারীদের:

PLC: মিতসুবিশি + টাচ স্ক্রিন (চীনে তৈরি)

ইলেকট্রনিক উপাদান: SCHNEIDER, OMRON.

নিরাপত্তা সুরক্ষা ব্যবস্থা:অপারেটর এবং সরঞ্জাম (জল, বর্তমান গ্যাস, তাপমাত্রা ইত্যাদি) রক্ষা করার জন্য অসংখ্য নিরাপত্তা ইন্টারলক

আবরণ প্রসেস সিস্টেম: প্রক্রিয়া অটোমেশন এবং নিয়ন্ত্রণ.

4.1 প্রধান সার্কিট: নন-ফিউজ ব্রেকার সুইচ, ইলেক্ট্রোম্যাগনেটিক সুইচ, সিরিজের ধরনে C/T

4.2 পাওয়ার সাপ্লাই: DC/MF স্পুটারিং পাওয়ার + ডিসি আর্ক পাওয়ার + বায়াস পাওয়ার সাপ্লাই

4.3 জমা নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা

4.4 অপারেশন সিস্টেম: টাচ স্ক্রিন + পিএলসি, রেসিপি নিয়ন্ত্রণ এবং ডেটা লগিং, অটো শাটডাউন, অটো ইভাকুয়েশন, অটো লেপ

4.5 পরিমাপ ব্যবস্থা

ভ্যাকুয়াম প্রেশার : ভ্যাকুয়াম গেজ: পিরানি + পেনিং গেজ + ফুল রেঞ্জ ভ্যাকুয়াম গেজ -- ইউরোপ ব্র্যান্ড

তাপমাত্রা মাপার যন্ত্র: থার্মোকল
MFC: ভর প্রবাহ নিয়ন্ত্রক (4 উপায়),

4.6 অ্যালার্ম সিস্টেম: সংকুচিত বায়ুচাপ, শীতল জলের প্রবাহ, ভুল-অপারেশন

4.7 পাওয়ার লোড সূচক: ভোল্টেজ সূচক এবং লোড বর্তমান সূচক

5.জমা ব্যবস্থা

5.1 জমার উত্স: স্পুটারিং ক্যাথোড + আর্ক উত্স + আয়ন উত্স

5.2 জমা উপাদান: তামা, অ্যালুমিনিয়াম, ক্রোম, সিলভার, সোনা, এসএস, টাইটানিয়াম ইত্যাদি।

6.সাব-সিস্টেম

6.1 এয়ার কমপ্রেসড ভালভ কন্ট্রোল সিস্টেম

6.2 কুলিং ওয়াটার সিস্টেম: ওয়াটার ফ্লো পাইপ এবং সুইচ ভালভ সিস্টেম

• কাজের পরিবেশ

সংকুচিত বায়ু: 5~8kg/cm2

শীতল জল: জলের তাপমাত্রা: 20~25℃, 200 লিটার/মিনিট,
জল-চাপ: 2 ~ 3 kg/cm2,

পাওয়ার: 3 ফেজ 380V 50Hz(60Hz), 130kVA, গড় পাওয়ার খরচ: 60KW

ইনস্টলেশন এলাকা: (L*W*H)4400*3200*2950mm

নিষ্কাশন: যান্ত্রিক পাম্প জন্য ভেন্ট

আরো স্পেসিফিকেশনের জন্য আমাদের সাথে যোগাযোগ করুন, রাজকীয় প্রযুক্তি মোট আবরণ সমাধানের সাথে আপনাকে সমর্থন করে।