আরটিএএস সিরিজ সাধারণ গ্রাফাইট, জেট কালো, নীল, তামা এবং ধাতব অংশগুলিতে ব্রোঞ্জ রঙ, স্টেইনলেস স্টিলের বস্তুগুলিতে একীভূত একাধিক জমা উত্সের মেশিন।বিশেষত উচ্চতর শ্রেণীর বিলাসবহুল অংশগুলির জন্য ব্যবহৃত হয়।
স্ট্যান্ডার্ড প্রয়োগ
গহনা, ঘড়ির স্ট্র্যাপ এবং দেহ, স্টেইনলেস স্টিলের খেলাধুলা, লেখার যন্ত্রগুলি
গ্রাহক ইলেক্ট্রনিক্স: মোবাইল ফোন, ল্যাপটপ, ক্যামেরা, ড্রোন
আরটিএএস মেশিনগুলি বিজ্ঞপ্তি চাপ এবং সিলিন্ডার স্পুটরিং বিস্তারের উত্স দিয়ে সজ্জিত।একাধিক ডিসি sputtering, এমএফ sputtering, চাপ বাষ্পীভবন এবং আয়ন উত্স ইত্যাদির একক মেশিনে বিভিন্ন অ্যাপ্লিকেশন সন্তুষ্ট করার জন্য কনফিগারেশনে উচ্চতর নমনীয়তার জন্য উপলব্ধ।বিশেষত ছোট উপাদানগুলির জন্য নান্দনিক আবরণ: জেট কালো, তামা, পিতল এবং ক্রোমের রঙ।
এমএফ স্পটটারিং কী?
ডিসি এবং আরএফ স্পটারিংয়ের সাথে তুলনা করে মিড-ফ্রিকোয়েন্সি স্পটরিং লেপের ব্যাপক উত্পাদন, বিশেষত অপটিক্যাল আবরণ, সৌর প্যানেল, একাধিক স্তর ইত্যাদির মতো পৃষ্ঠগুলিতে ফিল্টার জমা করার জন্য একটি প্রধান পাতলা ফিল্ম স্পটারিং কৌশল হয়ে উঠেছে , যৌগিক উপাদান ফিল্ম ইত্যাদি।
এটি আরএফ স্পটারিংয়ের পরিবর্তে আরও দ্রুত জমানো হারের চেয়ে মেগাহার্টজ-এর চেয়ে কেএইচজেডের সাথে পরিচালিত হওয়ার কারণে এবং ডিসির মতো যৌগিক পাতলা ফিল্ম জমা দেওয়ার সময় টার্গেটের বিষক্রিয়া এড়াতে পারে।
এমএফ স্পটারিং লক্ষ্যমাত্রা সর্বদা দ্বি-সেট দিয়ে উপস্থিত থাকে।দু'টি ক্যাথড এসি কারেন্টের সাথে পিছনে পিছনে স্যুইচ করা হয় যা প্রতিটি বিপরীত দিয়ে লক্ষ্য পৃষ্ঠকে পরিষ্কার করে যা ডাইলেট্রিকগুলিতে চার্জ বর্ধনকে কমিয়ে দেয় যা রক্তসঞ্জনে রক্তপাত করতে পারে এবং অভিন্ন পাতলা ফিল্মের বৃদ্ধি রোধ করতে পারে - যা আমরা যাকে টার্গেট পয়জনিং বলেছি।
প্রযুক্তিগত স্পেসিফিকেশন
না | নাম |
ঘ | ভ্যাকুয়াম পাম্পিং সিস্টেম: টার্বো মলিকুলার পাম্প + রুটস পাম্প + মেকানিকাল পাম্প + হোল্ডিং পাম্প |
ঘ | ভ্যাকুয়াম মেজারিং সিস্টেম: পিরানী + পেনিং গেজ |
ঘ | হিটিং সিস্টেম: আঠালো উন্নতি করতে স্তরগুলি গরম করার জন্য হিটার |
ঘ | জল / সংকুচিত এয়ার বিতরণ সিস্টেম: মডিউল ডিজাইন এবং কল্পিত |
৫ | সিলিন্ডার স্পটরিং ক্যাথোডস: বিকল্পের জন্য 2/4/6/8 জোড়া জোড়া টার্গেট |
। | ভ্যাকুয়াম গেট ভালভ (বিকল্প হিসাবে) |
7 | বৈদ্যুতিক ঘের (সিই স্ট্যান্ডার্ড) |
8 | ভ্যাকুয়াম চেম্বার (এসএস 304 / 316L অনুরোধ হিসাবে) |
9 | ক্যাথোডিক আর্কের উত্স (প্রচলিত তোরণ ক্যাথোড) |
10 | পোর্ট দেখুন (জমার চেম্বারের অভ্যন্তরে পরিদর্শন করার জন্য 2 দরজার উপর বিতরণ করা হয়েছে) |
11 | প্রক্রিয়াজাতকরণ গ্যাস বিতরণ সিস্টেম (4 টি চ্যানেলের জন্য মিটার ফ্লো কন্ট্রোলার) |
12 | র্যাক ড্রাইভিং সিস্টেম (গ্রহীয় ড্রাইভিং মডেল) |
13 | ক্যারোসেল |
বর্ণনা | আরটিএএস 1250 | আরটিএএস 1612 |
জমা চেম্বার (মিমি) | φ1250 * এইচ 1250 | φ1600 * এইচ 1250 |
প্ল্যানেটারি ড্রাইভিং কার্যকর লেপ অঞ্চল (মিমি) |
8: φ270 * এইচ 850 10: φ230 * এইচ 850 |
10: φ300 * এইচ 850 16: φ200 * এইচ 850 |
বিজ্ঞপ্তি আর্ক ক্যাথোড (সেট) | 7 | 12 |
সিলিন্ডার স্পটরিং ক্যাথোডস (জোড়া) | 3/4 | 4/6 |
পালস বায়াস পাওয়ার (কেডব্লু) |
36 | 48 |
ডিসি / এমএফ স্পুতারিং পাওয়ার (কেডব্লু) | 36 | 4 * 36 |
আর্ক পাওয়ার (কেডব্লু) | 7 * 5 | 12 * 5 |
ভ্যাকুয়াম পাম্প |
2 * টার্বো আণবিক পাম্প 1 * এসভি 300 গ 1 * WAU1001 1 * টিআরপি 60 |
3 * টার্বো আণবিক পাম্প 2 * এসভি 300 গ 1 * WAU2001 1 * টিআরপি 90 |
সর্বাধিকবিদ্যুৎ খরচ (কেডব্লু) | 200 | 245 |
গড় শক্তি খরচ (কেডব্লু) | <75 | <100 |
অপারেশন স্পেস (এল * ডাব্লু * এইচ) মিমি | 4300 * 3700 * 2800 | 5000 * 4000 * 2800 |
নমনীয় কনফিগারেশন: মেশিন লেপ প্রক্রিয়া এবং গ্রাহকদের প্রয়োজনীয়তা অনুযায়ী সেট করা হয়
অন্তর্নিহিত