ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং ব্যাপকভাবে ট্যান্টালম, টাইটানিয়াম, টাংস্টেন এর মতো অবাধ্য ধাতু জমা করতে ব্যবহৃত হয়, niobium, যা জমা করার জন্য খুব উচ্চ তাপমাত্রার প্রয়োজন হবে, এবং মূল্যবান ধাতু: স্বর্ণ এবং রৌপ্য এবং যা তামা, অ্যালুমিনিয়াম, নিকেল, ক্রোম ইত্যাদির মতো নিম্ন গলনাঙ্কের ধাতু জমা করার জন্যও ব্যবহৃত হয়।
ট্যানটালাম ইলেকট্রনিক্সে সবচেয়ে বেশি ব্যবহৃত হয় শিল্প একটি প্রতিরক্ষামূলক আবরণ কারণ ক্ষয় ভাল প্রতিরোধের.
স্পাটারড ট্যানটালাম পাতলা ফিল্মের প্রয়োগ:
1. মাইক্রোইলেক্ট্রনিক্স শিল্প যেমন ফিল্মগুলি প্রতিক্রিয়াশীলভাবে ছিটকে যেতে পারে এবং এইভাবে প্রতিরোধ ক্ষমতা এবং প্রতিরোধের তাপমাত্রা সহগ নিয়ন্ত্রণ করা যেতে পারে;
প্রযুক্তিগত সুবিধা
রয়্যাল টেকনোলজির প্রমিত ট্যানটালাম স্পুটারিং ডিপোজিশন সিস্টেম: RTSP1000
প্রধান কনফিগারেশন | |
মডেল | RTSP1000 |
প্রযুক্তি |
স্পন্দিত ডিসি ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং ক্যাথোডিক আর্ক প্লেটিং (বিকল্পের জন্য, আবরণ প্রক্রিয়া দ্বারা নির্ধারিত) |
চেম্বার উপাদান | স্টেইনলেস স্টীল (S304) |
চেম্বারের আকার | Φ1000*1600mm (H) |
চেম্বার টাইপ | ডি আকৃতি, নলাকার চেম্বার |
রোটেশন র্যাক এবং জিগ সিস্টেম | স্যাটেলাইট ড্রাইভিং বা কেন্দ্রীয় ড্রাইভিং সিস্টেম |
শক্তি সরবরাহ |
ডিসি স্পুটারিং পাওয়ার সাপ্লাই: 2~4 সেট আয়ন উত্স: 1 সেট |
জমার উপাদান | Ta, Ti/Cr/TiAl, Au, Ag, Cu ইত্যাদি। |
জমার উৎস | প্ল্যানার স্পুটারিং ক্যাথোড + বৃত্তাকার আর্ক ক্যাথোড |
নিয়ন্ত্রণ | পিএলসি (প্রোগ্রামেবল লজিক কন্ট্রোলার) + আইপিসি (ম্যানুয়াল+অটো+সেমি-অটো অপারেশন মডেল) |
পাম্প সিস্টেম | রোটারি ভেন পাম্প: SV300B – 1 সেট (লেবোল্ড) |
রুট পাম্প: WAU1001 - 1 সেট (লেবোল্ড) | |
হোল্ডিং পাম্প: D60C - 1 সেট (লেবোল্ড) | |
চৌম্বক সাসপেনশন আণবিক পাম্প: MAG2200 - 2 সেস্ট (লেবোল্ড) |
|
গ্যাস ভর প্রবাহ নিয়ন্ত্রক | 2টি চ্যানেল: Ar এবং N2 |
ভ্যাকুয়াম গেজ | ইনফিকন বা লেবোল্ড |
নিরাপত্তা ব্যবস্থা | অপারেটর এবং সরঞ্জাম রক্ষা করার জন্য অসংখ্য নিরাপত্তা ইন্টারলক |
গরম করার | হিটার: 20KW।সর্বোচ্চতাপমাত্রা: 450 ℃ |
কুলিং | ইন্ডাস্ট্রিয়াল চিলার (ঠান্ডা পানি) |
পাওয়ার ম্যাক্স। | 100KW (প্রায়) |
গড় শক্তি খরচ | 45 কিলোওয়াট (প্রায়) |
মোট ওজন | টি (প্রায়) |
পদাঙ্ক | (L*W*H) 4000*4000 *3600 MM |
বৈদ্যুতিক শক্তি |
AC 380V/3 ফেজ/50HZ/5 লাইন |
ইনসাইট:
নির্মিত সময়: 2018
অবস্থান: চীন
আরো অ্যাপ্লিকেশন এবং স্পেসিফিকেশনের জন্য আমাদের সাথে যোগাযোগ করুন.