আপনার বিশেষ চাহিদা মেটাতে কাস্টমাইজেশন
আপনার উৎপাদন খরচ কমাতে মানককরণ
-- আমরা আরো অ্যাপ্লিকেশনের উপর ফোকাস করি
2-মাল্টিটেক- ডিএলসি আইপিজি ব্ল্যাক ফিল্ম কোটিংস.পিডিএফআরো তথ্যের জন্য এখানে ব্রোশিওর ডাউনলোড করুন
MF Sputtering কি?
ডিসি এবং আরএফ স্পটারিংয়ের সাথে তুলনা করে, মিড-ফ্রিকোয়েন্সি স্পাটারিং একটি প্রধান পাতলা ফিল্ম স্পাটারিং কৌশল হয়ে উঠেছে আবরণের ব্যাপক উত্পাদনের জন্য, বিশেষ করে অপটিক্যাল আবরণ, সৌর প্যানেল, একাধিক স্তরের মতো পৃষ্ঠগুলিতে ডাইইলেক্ট্রিক এবং অ-পরিবাহী ফিল্ম আবরণের ফিল্ম জমার জন্য। , যৌগিক উপাদান ফিল্ম ইত্যাদি
এটি আরএফ স্পুটারিংকে প্রতিস্থাপন করছে কারণ এটি অনেক দ্রুত জমার হারের জন্য MHz এর চেয়ে kHz দিয়ে চালিত হয় এবং এছাড়াও DC এর মতো যৌগিক পাতলা ফিল্ম জমার সময় টার্গেট বিষক্রিয়া এড়াতে পারে।
MF sputtering লক্ষ্য সবসময় দুই সেট সঙ্গে বিদ্যমান.দুটি ক্যাথোড ব্যবহার করা হয় একটি এসি কারেন্টের সাথে তাদের মধ্যে সামনে পিছনে সুইচ করা হয় যা প্রতিটি বিপরীতমুখী দ্বারা লক্ষ্য পৃষ্ঠকে পরিষ্কার করে যাতে ডাইলেক্ট্রিকগুলির উপর জমা হওয়া চার্জ কমিয়ে দেয় যা আর্কিং এর দিকে পরিচালিত করে যা প্লাজমাতে ফোঁটা ফোঁটাতে পারে এবং অভিন্ন পাতলা ফিল্মের বৃদ্ধি রোধ করতে পারে--- যাকে আমরা টার্গেট পয়জনিং বলে থাকি।
জবানবন্দি সূত্র
কঠিন ধাতব লক্ষ্যের বাষ্পীভবনের জন্য স্টিয়ারড সার্কুলার আর্ক উত্স;
গ্রাফাইট পাতলা ফিল্ম স্তর জমার জন্য এমএফ সিলিন্ডার স্পুটারিং ক্যাথোডের 2/4/6 জোড়া;
পূর্ব চিকিত্সার জন্য প্লাজমা এলাকা গঠনের জন্য আয়ন বোমবোর্ডমেন্টের জন্য বায়াস পাওয়ার সাপ্লাই;
অ্যানোড লিনিয়ার আয়ন সোর্স ইউনিট (ঐচ্ছিক জন্য) PACVD এবং PECVD প্রক্রিয়াকরণ;
জলের আণবিক ঘনীভবনের জন্য ক্রিওপাম্প (পলিকোল্ড) (ঐচ্ছিক জন্য)
অন্যান্য মডিউল
1. ভ্যাকুয়াম চেম্বার
2. রুহিং ভ্যাকুয়াম পাম্পিং সিস্টেম (ব্যাকিং পাম্প প্যাকেজ)
3. উচ্চ ভ্যাকুয়াম পাম্পিং সিস্টেম (চৌম্বকীয়ভাবে সাসপেনশন মলিকুলার পাম্প)
4. বৈদ্যুতিক নিয়ন্ত্রণ এবং অপারেশন সিস্টেম
5. অক্সিলিয়ারি ফ্যাসিলিটি সিস্টেম (সাব সিস্টেম)
6. ডিপোজিশন সিস্টেম: এমএফ স্পুটারিং ক্যাথোড, এমএফ পাওয়ার সাপ্লাই, বায়াস পাওয়ার সাপ্লাই আয়ন উৎস ঐচ্ছিক জন্য
আবরণ মেশিন কর্মক্ষমতা
1. চূড়ান্ত ভ্যাকুয়াম চাপ: 5.0x10 এর চেয়ে ভাল-6টর.
2. অপারেটিং ভ্যাকুয়াম চাপ: 1.0×10-4টর.
3. পাম্পিংডাউন সময়: 1 atm থেকে 1.0×10 পর্যন্ত-4Torr≤ 3 মিনিট (ঘরের তাপমাত্রা, শুকনো, পরিষ্কার এবং খালি চেম্বার)
4. ধাতব পদার্থ (স্পটারিং + আর্ক বাষ্পীভবন): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr, TiN, TiC, TiAlN, CrN, CrC, ইত্যাদি।
5. অপারেটিং মডেল: সম্পূর্ণ স্বয়ংক্রিয়ভাবে/সেমি-অটো/ম্যানুয়ালি
বর্ণনা | RT1000-DLC |
RT1000-IPG |
RT1250-কালো |
RT1612-কালো |
প্রযুক্তিগত সুবিধা |
দ্রুত ইনস্টলেশনের জন্য প্লাগ-ইন ইন্টিগ্রেটেড সিস্টেম |
উচ্চতর ভলিউম |
||
প্রধান অ্যাপ্লিকেশন |
চিকিৎসা উপকরণ, গয়না, ঘড়ির যন্ত্রাংশে কালো DLC আবরণ। |
মাঝারি এবং বড় ওয়ার্কপিস: এসএস কাটলারি, দরজার হাতল, বাথরুমের জিনিসপত্র, স্বয়ংচালিত উপাদান, খেলাধুলা, ঘরের যন্ত্রপাতি, রান্নাঘরের জিনিসপত্র এবং বর্ণালী ফ্রেম ইত্যাদি। | ||
ডিপোজিশন চেম্বার |
φ1000 * H1000mm |
φ1250 * H1250mm |
φ1600 * H1250mm |
|
লোড ব্যাস |
6*φ250 মিমি |
8*φ270mm 10*φ230mm |
10*φ300mm 16*φ200mm |
|
লোড উচ্চতা (কার্যকর) |
650 মিমি | 900 মিমি | 900 মিমি | |
জমা ক্যাথোডস | 5 আর্ক + 4 জোড়া MF সিলিন্ডার স্পুটার |
বিকল্প A: 8 আর্ক + 1 সেট ডিসি প্ল্যানার স্পুটার; |
7 আর্ক + 3 (বা 4) জোড়া MF সিলিন্ডার স্পুটার | 12 আর্ক + 4 (বা 6 ) জোড়া MF সিলিন্ডার স্পুটার |
অপারেশন ও কন্ট্রোল সিস্টেম |
সিমেন্স পিএলসি + ইন্ডাস্ট্রিয়াল কম্পিউটার + রয়্যালটেক।অপারেশন প্রোগ্রাম |
এই কনফিগারেশনগুলি মানক, একটি নির্দিষ্ট উন্নয়নশীল বাজার এবং নতুন বিশেষ আবরণগুলির জন্য, অনুরোধের ভিত্তিতে কাস্টমাইজড কনফিগারেশন এবং পরিবর্তনগুলি উপলব্ধ।
ভ্যাকুয়াম সিস্টেম ইনস্টলেশন প্রোগ্রাম কমিশনিং
আরও স্পেসিফিকেশনের জন্য আমাদের সাথে যোগাযোগ করুন, রাজকীয় প্রযুক্তি আপনাকে মোট আবরণ সমাধান প্রদানের জন্য সম্মানিত।