পিভিডি মেশিন মডেল: RTSP1215-MF ডিজাইন এবং কপার সার্কিট বোর্ডে TiN স্বর্ণের আবরণ জমা করার জন্য উন্নত। TiN পাতলা ফিল্ম উচ্চ ভ্যাকুয়াম পরিবেশে উত্পাদিত, যা অত্যন্ত ইউনিফর্ম এবং বিশুদ্ধতা উন্নত।
কপার সার্কিট বোর্ড TiN PVD লেপ মেশিন নকশা বৈশিষ্ট্য:
1. 8-পার্শ্ব চেম্বার সমান মাপের flanges মাউন্ট, যা আইওন উৎস এবং sputtering ক্যাথোডস বা আর্ক cathodes নমনীয়ভাবে লেপ প্রসেসের চাহিদা উপর ভিত্তি করে বিনিময় করতে পারে।
2. কম্প্যাক্ট নকশা যা শুধুমাত্র 20sqm দখল;
3. আয়ন সারণি প্রাক-চিকিত্সা এবং আয়ন-বীম ফিল্ম পরিপূরক উন্নত করার জন্য অ্যাস্পোডেড অ্যাসোসিয়েশন পরিষ্কারের জন্য উৎস।
4. উচ্চ পাম্পিং গতি প্যাকেজ এবং স্থিতিশীল কনফিগারেশন, চুম্বকীয় সাসপেনশন আণবিক পাম্প কোন দিক মাউন্ট করা যাবে।
কপার সার্কিট বোর্ড TiN PVD লেপ মেশিন বিশেষ উল্লেখ
কর্মক্ষমতা
1. আলটিমেট ভ্যাকুয়াম চাপ: 5.0 × 10 এর চেয়ে ভাল - 6 টর।
2. ভ্যাকুয়াম চাপ চালানো: 1.0 × 10 - 4 টর।
3. পাম্পডাউন টাইম: 1 এট থেকে 1.0 × 10 - 4 টরঃ 3 মিনিট (কক্ষ তাপমাত্রা, শুষ্ক, পরিষ্কার এবং খালি চেম্বার)
4. মেটালাইজিং উপাদান (স্পুটারিং + আর্ক বাষ্পীভবন): নি, কু, এজি, অউ, তি, জির, সিআর ইত্যাদি।
5. অপারেটিং মডেল: সম্পূর্ণ স্বয়ংক্রিয়ভাবে / সেমি অটো / ম্যানুয়ালি
গঠন
ভ্যাকুয়াম লেপ মেশিন নীচে তালিকাভুক্ত কী সম্পন্ন সিস্টেম রয়েছে:
1. ভ্যাকুয়াম চেম্বার
2. রৌহিং ভ্যাকুয়াম পাম্পিং সিস্টেম (ব্যাকিং পাম্প প্যাকেজ)
3. উচ্চ ভ্যাকুয়াম পাম্পিং সিস্টেম (চুম্বকীয় সাসপেনশন আণবিক পাম্প)
4. বৈদ্যুতিক নিয়ন্ত্রণ এবং অপারেশন সিস্টেম
5. অক্সকুটটি ফ্যাসিলিটি সিস্টেম (সাব-সিস্টেম)
6. ডিপোজিজন সিস্টেম
RTSP1215-এমএফ প্রযুক্তিগত তথ্য | |||||||
মডেল | RTSP1215-এম এফ | ||||||
প্রযুক্তি | ম্যাগনেট্রন স্পুতারিং (এমএফ) | ||||||
উপাদান | স্টেইনলেস স্টীল (S304) | ||||||
চেম্বারের আকার | Φ1200 * H1500mm | ||||||
চেম্বার প্রকার | 8-পক্ষ, উল্লম্ব, 1-দরজা | ||||||
স্পুত্টারিং সিস্টেম | 4 সেট প্লেন Sputtering Cathodes | ||||||
ডিপোজিটরি উপাদান | অ্যালুমিনিয়াম, সিলভার, কপার, ক্রোম, স্টেইনলেস স্টীল, নিকেল, টাইটানিয়াম, TiN | ||||||
ডিপোজিটরি সোর্স | 4 প্ল্যানার স্প্রেটারিং ক্যাথড + প্লাজমা পরিষ্কারের জন্য আয়ন উত্স | ||||||
গ্যাস | এমএফসি- ২ উপায়ে, আর, এন 2 | ||||||
নিয়ন্ত্রণ | পিএলসি (প্রোগ্রামেবল লজিক কন্ট্রোলার) + টাচ স্ক্রিন | ||||||
পাম্প সিস্টেম | SV300B - 1 সেট (লেবেড) | ||||||
WAU1001 - 1 সেট (লেবেড) | |||||||
D60T- 1 সেট (লেবেড) | |||||||
MGK3304 - 2 সেট (ওসাকা) | |||||||
প্রাক চিকিত্সা | বিয়াস পাওয়ার সাপ্লাই: 1 * 36 কিলোওয়াট | ||||||
নিরাপত্তা ব্যবস্থা | অপারেটরদের সুরক্ষার জন্য অনেক নিরাপত্তা ইন্টারলক এবং সরঞ্জাম | ||||||
শীতলকারী | ঠান্ডা পানি | ||||||
শক্তি ইলেক্ট্রিক | 480V / 3 টি পর্যায় / 60HZ (মার্কিন যুক্তরাষ্ট্র অনুবর্তী) | ||||||
460V / 3 টি পর্যায় / 50HZ (এশিয়া অনুবর্তী) | |||||||
380V / 3 টি পর্যায় / 50HZ (ইইউ-সিই অনুবর্তী) | |||||||
পদাঙ্ক | L3000 * W3000 * H2000mm | ||||||
সম্পূর্ণ ওজন | 7.0 টি | ||||||
পদাঙ্ক | (এল * ওয়াট * এইচ) 5000 * 4000 * 4000 এমএম | ||||||
চক্রাকারে | 30 ~ 40 মিনিট (স্তর উপাদান উপর নির্ভর করে, স্তরবিন্যাস জ্যামিতি এবং পরিবেশগত অবস্থার) | ||||||
শক্তি MAX .. | 110KW | ||||||
এভারেজ পাওয়ার কনসাম্পশন (এ্যাপ্রক্স।) | 50 কিলোওয়াট |
কপার সার্কিট বোর্ড TiN PVD আবরণ নমুনা
আরো নির্দিষ্টকরণের জন্য আমাদের সাথে যোগাযোগ করুন, আপনি মোট আবরণ সমাধান প্রদান করতে রয়েল প্রযুক্তি সম্মানিত হয়।