গবেষণা ও উন্নয়ন একাধিক - লিনিয়ার অয়ন উত্স ডিভাইস সহ ভ্যাকুয়াম লেপ সরঞ্জাম এমএফ / ডিসি স্পুটরিং ক্যাথোডস

আর & ডি একাধিক - ফাংশন ভ্যাকুয়াম আবরণ যন্ত্রপাতি এমএফ / ডিসি Sputtering Cathodes

আর & ডি একাধিক-ফাংশন ভ্যাকুয়াম আবরণ যন্ত্রপাতি

কি- ওয়ার্ড : পিভিডি হার্ড কোটিংস, পিইসিভিডি প্রসেস, ডেলসি ফিল্ম, ডায়মন্ড কার্বন ফিল্মের মতো, স্পুত্টারিং অপটিক্যাল ফিল্ম, জেনকাইয়া ম্যাগনেট্রন স্পুত্টারিং ক্যাথড, আইওন সোর্স, পিএইচডি পিভিড

RTAC950- এসপি নকশা বৈশিষ্ট্য:

• নমনীয়তা: চাপ এবং sputter উত্স, রৈখিক আয়ন উৎস ডিভাইস mounting flanges নমনীয় বিনিময় জন্য প্রমিত
• ভারসাম্যতা: বেস ধাতু এবং alloys, অপটিক্যাল coatings এবং হার্ড coatings, নরম কোটিং বিভিন্ন জমা জন্য পাওয়া যায়। ধাতব এবং অ ধাতব পদার্থ উপাদানে কম্পাউন্ড ছায়াছবি এবং কঠিন তৈলাক্তকরণ চলচ্চিত্র
• সোজা এগিয়ে নকশা: 2-দরজা গঠন, সহজ রক্ষণাবেক্ষণ জন্য সামনে এবং ফিরে খোলার।

প্রযুক্তিগত বিবরণ

• কর্মক্ষমতা

1. আলটিমেট ভ্যাকুয়াম চাপ: 8.0 * 10 থেকে ভাল ^{- 4} পাও;

• বেস ভ্যাকুয়াম চাপ: 3.0 * 10 ^{- 2} পে

3. সময় নিচে পাম্প: এটিএম থেকে 1.0 × 10 ^{- 3} পাউন্ড 15 মিনিট (রুম তাপমাত্রা, শুষ্ক, পরিষ্কার এবং খালি চেম্বার)

4. উত্স উৎস: জেনকো ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং ক্যাথোড, চার্চ ক্যাথোড চালিত, আইওন উৎস

5. অপারেটিং মডেল: সম্পূর্ণ স্বয়ংক্রিয়ভাবে / সেমি অটো / ম্যানুয়ালি

6. তাপীকরণ: কক্ষ তাপমাত্রা থেকে সর্বাধিক পর্যন্ত 500 ℃,

পিওসিভিডি এবং পিএ পিভিডি প্রসেসের জন্য আইওন উৎস।

• গঠন

ভ্যাকুয়াম লেপ মেশিন নীচে তালিকাভুক্ত কী সম্পন্ন সিস্টেম রয়েছে:

1. ভ্যাকুয়াম চেম্বার
1.1 আকার: অভ্যন্তরীণ গভীরতা 950mm

আনার উচ্চতা: 1350mm

1.2 উপাদান: ভ্যাকুয়াম চেম্বার SUS304

দরজা এবং flanges SUS304

চেম্বার কাঠামো শক্তিশালী: SS41 হালকা ইস্পাত, পেইন্ট সমাপ্তি পৃষ্ঠ চিকিত্সা সঙ্গে।

চেম্বার চ্যাসি SS41 হালকা ইস্পাত অঙ্কিত সমাপ্তি পৃষ্ঠ চিকিত্সা সঙ্গে।

1.3 চেম্বারের ঢাল: SUS304

1.4 দেখুন উইন্ডো: চেম্বারের দরজা -2 এ

1.5 ভ্যাকুয়াম চেম্বার ভেন্টিং ভালভ (সিলেন্স সহ)

1.6 ডোর: 2 সেট, সামনে এবং পিছনে, SUS304 উপাদান

2. রুইজিং ভ্যাকুয়াম পাম্পিং সিস্টেম:
তেল ঘূর্ণমান ভ্যান ভ্যাকুয়াম পাম্প + হোল্ডিং পাম্প

3. উচ্চ ভ্যাকুয়াম পাম্পিং সিস্টেম:

Turbo অণু পাম্প - 2 সেট

4. বৈদ্যুতিক নিয়ন্ত্রণ এবং অপারেশন সিস্টেম- পিএলসি + টাচ স্ক্রিনঅপারেশন সিস্টেম:

সরবরাহকারীদের:

পিএলসি: মিত্সুবিশি, মডেল: FX-IN60MR-001 সিরিজ

ইলেকট্রনিক সামগ্রী: SCHNEIDER, ওমরন।

নিরাপত্তা সুরক্ষা ব্যবস্থা: অপারেটর এবং সরঞ্জাম (জল, বর্তমান গ্যাস, তাপমাত্রা ইত্যাদি) সুরক্ষার জন্য অনেক নিরাপত্তা সংযোগ রয়েছে।

লেপ প্রক্রিয়াগুলি সিস্টেম : প্রক্রিয়া অটোমেশন এবং নিয়ন্ত্রণ। স্বয়ংক্রিয়ভাবে 3 মাসের জন্য মেমরি সংরক্ষিত। বৈশিষ্ট্যযুক্ত লেপ রেসিপি তথ্য: লক্ষ্য অপারেশন বর্তমান / ভোল্টেজ, গণ প্রবাহ, ভ্যাকুয়াম চাপ, তাপমাত্রা, লেপ সময় একটি বিশ্লেষণ জন্য সংরক্ষণ করা হয় কোটিং মানের উন্নত।

4.1 প্রধান সার্কিট: কোনও-ফিউজ ভাঙ্গন সুইচ, ইলেক্ট্রোম্যাগনেটিক সুইচ, সিরি টাইপ টাইপ সি / টি

4.2 পাওয়ার সাপ্লাই: এমএফ স্পুটারিং পাওয়ার + ডিসি আর্ক পাওয়ার + বায়াস পাওয়ার সাপ্লাই

4.3 ডিপোজিউশন কন্ট্রোল সিস্টেম

4.4 অপারেশন সিস্টেম: টাচ স্ক্রিন + পিএলসি, রেসিপি নিয়ন্ত্রণ এবং ডেটা লগিং, অটো বন্ধ, অটো অবকাশ, অটো লেপ

4.5 পরিমাপ সিস্টেম

ভ্যাকুয়াম চাপ: ভ্যাকুয়াম গেজ: পিরানী + পেনিং গেজ + পূর্ণ পরিসীমা ভ্যাকুয়াম গেজ - ইউরোপ ব্র্যান্ড

তাপমাত্রা পরিমাপ ডিভাইস: তাপদ্বয়
এমএফসি: গণধর্ষণ নিয়ন্ত্রক (4 উপায়ে),

4.6 এলার্ম সিস্টেম: কম্প্রেস বাতাস চাপ, শীতল জল প্রবাহ, মিস অপারেশন

4.7 পাওয়ার লোড নির্দেশক: ভোল্টেজ সূচক এবং লোড বর্তমান সূচক

5 জমা সিস্টেম

5.1 ডিপোজিট সোর্স: স্পুটারিং ক্যাথোড + আর্ক সোর্স + আইওন সোর্স

5.2 দায়বদ্ধ উপাদান: আইটিও, টাইটানিয়াম, ক্রোম, অ্যালুমিনিয়াম, স্টেইনলেস স্টীল, টিএল ইত্যাদি।

6. সাব-সিস্টেম

6.1 এয়ার সংকুচিত ভালভ কন্ট্রোল সিস্টেম

6.2 কুলিং জল সিস্টেম: জল প্রবাহ পাইপ এবং সুইচ ভালভ সিস্টেম

7. কর্ম পরিবেশ

কম্প্রেস এয়ার: 5 ~ 8 কেজি / সেমি ২

কুলিং জল: জল ইন তাপমাত্রা: 20 ~ 25 ℃, 200 লিটার / মিনিট,
পানি ইন চাপ: 2 ~ 3 কেজি / সেমি 2,

শক্তি: 3 ফেজ 380 ডি 50Hz (60Hz), 130 কেভিএ, গড় শক্তি খরচ: 60KW

ইনস্টলেশন এলাকা: (এল * ওয়াট * এইচ) 4400 * 3200 * ২950 মিমি

নিষ্কাশন: যান্ত্রিক পাম্প জন্য ভেন্ট

অ্যাপ্লিকেশন

আরো নির্দিষ্টকরণের জন্য আমাদের সাথে যোগাযোগ করুন, আপনি মোট আবরণ সমাধান প্রদান করতে রয়েল প্রযুক্তি সম্মানিত হয়।