হাইড্রোফোবিক কম্পোজিশন ফিল্মের জন্য উচ্চ ঘনত্বের ম্যাগনেট্রন স্পটরিং ডিপোজিশন সিস্টেম, PECVD স্পটারিং মেশিন

অ্যাপ্লিকেশন:

RTSP1213 মেশিনটি একটি ব্যাচ মডেল স্পুতারিং সিস্টেম, ধাতব এবং অ-ধাতব পদার্থ উপাদেয় বিভিন্ন হার্ড কোটিং, নরম কোটিং, যৌগিক চলচ্চিত্র এবং কঠিন তৈলাক্তকরণ চলচ্চিত্র জমা দিতে পারে। হাইড্রোজেন জ্বালানি সেল যানবাহন শিল্প, ফটোগ্রাফিক পণ্য, মহাকাশ এবং অন্যান্য নতুন শক্তি শিল্পের প্রয়োগ।

বিশিষ্টতা:

পৃষ্ঠতল পরিবাহিতা উন্নত;

উচ্চ জারা প্রতিরোধের;

উচ্চ পরিধান প্রতিরোধের;

উচ্চ কঠোরতা

হাইড্রোফোবিক কম্পোজিটি ফিল্ম এবং অন্যান্য ক্রিয়ামূলক ছায়াছবি

যৌগিক কোটিংয়ের জন্য উপলব্ধ: ধাতব এবং অ ধাতব ধাতব ছায়াছবি।

ফিল্ম পুরুত্ব 100nm থেকে 12μm পরিসীমা, বেধ সহনশীলতা ± 5%
দৃঢ় আনুগত্য

কম tempering অংশ পৃষ্ঠ কঠিনীভবন চিকিত্সা।

ধরন:

উল্লম্ব অবস্থান, বহুমাত্রিক গঠন, 2-দরজা (সামনে এবং পিছনে)

বৈশিষ্ট্য:

• পরিবেশ বান্ধব সিস্টেম, শিল্প বর্জ্য জল, বায়ু এবং শব্দ দূষণ;
• সহজ অপারেশন: টাচ স্ক্রিন + পিএলসি কন্ট্রোল এবং এক স্পর্শ অপারেশনের জন্য অনন্য সফটওয়্যার প্রোগ্রাম, 80% থেকেও বেশি সমস্যা শ্যুটিং অ্যালার্ম।
• আপ 10 প্রক্রিয়াকরণ রেসিপি লগইন এবং ব্যাকআপ; উচ্চ পুনরাবৃত্তি এবং বৈচিত্র্য
• ফিল্ম পোস্টেশনের উচ্চ একধরণের জন্য ক্যারোজেল সিস্টেমের বিশেষ নকশা।
• উচ্চ উত্পাদনশীলতা এবং উচ্চ মানের
• স্থিতিশীল এবং নির্ভরযোগ্য সিস্টেম, চলমান 365 দিন * 24 ঘন্টা (রক্ষণাবেক্ষণ এবং মেরামতের ব্রেকিং টাইম)
• ফলপ্রসু পাম্পিং সিস্টেম: সুপরিচিত ইউরোপ ব্র্যান্ড পাম্পগুলির সাথে সর্বোচ্চ পাইপিংয়ের গতির জন্য ছোট ভ্যাকুয়াম পাইপ লাইন
• কমপ্যাক্ট নকশা সর্বনিম্ন ইনস্টলেশন স্থান দখল।

প্রযুক্তিগত বিবরণ

• কর্মক্ষমতা

1. আলটিমেট ভ্যাকুয়াম চাপ: 8.0 * 10 ^-5 পাউন্ডের চেয়ে ভাল;

• বেস ভ্যাকুয়াম চাপ: 3.0 * 10 ^{- 4} পাউ

3. সময় নিচে পাম্প: এটিএম থেকে 1.0 × 10 ^{- 3} পাউন্ড 15 মিনিট (রুম তাপমাত্রা, শুষ্ক, পরিষ্কার এবং খালি চেম্বার)

4. উত্স উৎস: সুষম / অসমর্থিত স্পুতারিং ক্যাথোড

5. অপারেটিং মডেল: সম্পূর্ণ স্বয়ংক্রিয়ভাবে / সেমি অটো / ম্যানুয়ালি

6. তাপীকরণ: কক্ষ তাপমাত্রা থেকে সর্বাধিক পর্যন্ত 450 ℃,

7. প্লাজমা পরিষ্কার এবং প্লাজমা সহায়তা জমা: Anode লিনিয়ার আইওন উত্স

8. চৌম্বক বন্ধ - লুপ দাখিলা (ভারসাম্য / ভারসাম্য ক্যাথোড)

9. বায়ু দ্রবীভূত নিষ্কাশন জন্য শক্তি সরবরাহ।

• গঠন

ভ্যাকুয়াম লেপ মেশিন নীচে তালিকাভুক্ত কী সম্পন্ন সিস্টেম রয়েছে:

1. ভ্যাকুয়াম চেম্বার
1.1 আকার: ইনার ব্যাসার্ধ 1200 মিমি

ভিতরের উচ্চতা: 1300 মিমি

1.2 উপাদান: ভ্যাকুয়াম চেম্বার SUS304

দরজা এবং flanges SUS304

চেম্বার কাঠামো শক্তিশালী: SS41 হালকা ইস্পাত, পেইন্ট সমাপ্তি পৃষ্ঠ চিকিত্সা সঙ্গে।

চেম্বার চ্যাসি SS41 হালকা ইস্পাত অঙ্কিত সমাপ্তি পৃষ্ঠ চিকিত্সা সঙ্গে।

1.3 Sputtering শিল্ড: SUS304

1.4 দেখুন উইন্ডো: চেম্বারের দরজা - 4 সেট (2 প্রতিটি দরজা)

1.5 ভ্যাকুয়াম চেম্বার ভেন্টিং ভালভ (সিলেন্স সহ)

1.6 ডোর: SUS304 উপাদান

2. ভাঁজ ভ্যাকুয়াম পাম্পিং সিস্টেম :

তেল ঘূর্ণমান ভ্যান ভ্যাকুয়াম পাম্প + রুট পাম্প + হোল্ডিং পাম্প (Leybold)

3. উচ্চ ভ্যাকুয়াম পাম্পিং সিস্টেম :

চৌম্বক সাসপেনশন আণবিক পাম্প (Leybold)

• গেট ভালভ - 2 সেট

4. বৈদ্যুতিক নিয়ন্ত্রণ এবং অপারেশন সিস্টেম - পিএলসি + টাচ স্ক্রিন

4.1 প্রধান সার্কিট: কোনও-ফিউজ ভাঙ্গন সুইচ, ইলেক্ট্রোম্যাগনেটিক সুইচ, সিরি টাইপ টাইপ সি / টি

4.2 স্পুটারিং পাওয়ার সাপ্লাই + আইওন সোর্স পাওয়ার সাপ্লাই + বায়াস পাওয়ার সাপ্লাই (অ্যাডভান্সড এনার্জি)

4.3 স্পুটারিং বন্টন নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা

4.4 অপারেশন সিস্টেম: টাচ স্ক্রিন + পিএলসি, রেসিপি নিয়ন্ত্রণ এবং ডেটা লগিং, অটো বন্ধ, অটো অবকাশ, অটো লেপ

4.5 পরিমাপ সিস্টেম

ভ্যাকুয়াম চাপ: ভ্যাকুয়াম গেজ: পিরানী + পেনিং গেজ + পূর্ণ পরিসীমা ভ্যাকুয়াম গেজ - ইউরোপ ব্র্যান্ড

তাপমাত্রা পরিমাপ ডিভাইস: তাপদ্বয়
এমএফসি: গণবাহিনী নিয়ন্ত্রক (4 উপায়), ডিজিটাল প্রদর্শন মোড - ইউরোপ ব্র্যান্ড

4.6 এলার্ম সিস্টেম: কম্প্রেস বাতাস চাপ, শীতল জল প্রবাহ, মিস অপারেশন

4.7 পাওয়ার লোড নির্দেশক: ভোল্টেজ সূচক এবং লোড বর্তমান সূচক

5 জমা সিস্টেম

5.1 ডিপোজিট উৎস: স্পুত্টারিং ক্যাথোডস, আইওন সোর্স - ইউরোপ ব্র্যান্ড

5.2 দায়বদ্ধ উপাদান: কার্বন লক্ষ্য

6. সাব-সিস্টেম

6.1 এয়ার সংকুচিত ভালভ কন্ট্রোল সিস্টেম

6.2 কুলিং জল সিস্টেম: জল প্রবাহ পাইপ এবং সুইচ ভালভ সিস্টেম

7. ওয়ার্কিং পরিবেশ

কম্প্রেস এয়ার: 5 ~ 8 কেজি / সেমি ২

কুলিং জল: জল ইন তাপমাত্রা: 20 ~ 25 ℃, 200 লিটার / মিনিট,
পানি ইন চাপ: 2 ~ 3 কেজি / সেমি 2,

শক্তি: 3 ফেজ 380 ডি 50Hz (60Hz), 75kVA, গড় শক্তি খরচ: 40KW

ইনস্টলেশন এলাকা: (এল * ওয়াট * এইচ) 3000 * 4000 * 3200 মিমি

নিষ্কাশন: যান্ত্রিক পাম্প জন্য ভেন্ট

আরো নির্দিষ্টকরণের জন্য আমাদের সাথে যোগাযোগ করুন, আপনি মোট আবরণ সমাধান প্রদান করতে রয়েল প্রযুক্তি সম্মানিত হয়।