স্বর্ণ, রৌপ্য এবং তামা সিরামিক পিভিডি স্পটারিং ডিপজিশন মেশিন,

Au Gold Sputtering Deposition Equipment, Silve/Gold PVD Deposition Machine, Conductive Film PVD Sputtering System (আউ গোল্ড স্পটটিং ডিপজিশন সরঞ্জাম, সিলভার/গোল্ড পিভিডি ডিপজিশন মেশিন, কন্ডাক্টিভ ফিল্ম পিভিডি স্পটটিং সিস্টেম) 

সংক্ষিপ্তসার:ডিপিসি প্রক্রিয়া- ডাইরেক্ট প্লাটিং কপার একটি উন্নত লেপ প্রযুক্তি যা এলইডি / অর্ধপরিবাহী / ইলেকট্রনিক শিল্পে প্রয়োগ করা হয়। একটি সাধারণ অ্যাপ্লিকেশন সিরামিক রেডিয়েটিং সাবস্ট্র্যাট।অ্যালুমিনিয়াম অক্সাইড (Al2O3) এর উপর কুপার কন্ডাক্টিভ ফিল্ম জমাপ্রচলিত উত্পাদনের সাথে তুলনা করে পিভিডি ভ্যাকুয়াম স্পটারিং প্রযুক্তির মাধ্যমে আলএন সাবস্ট্রেট

পদ্ধতিঃ ডিবিসি এলটিসিসি এইচটিসিসি, এর উচ্চ বৈশিষ্ট্যটি হ'ল এর উত্পাদন ব্যয় অনেক কম।

রয়্যাল টেকনোলজি টিম আমাদের গ্রাহককে পিভিডি স্পটারিং প্রযুক্তির সাহায্যে ডিপিসি প্রক্রিয়া সফলভাবে বিকাশ করতে সহায়তা করেছে।

কীওয়ার্ডঃসিরামিক সিলিং পার্টস, ডিপিসি প্রক্রিয়া, কপার পিভিডি স্পটারিং সিস্টেম, কুপার প্লাটিং সহ এলইডি সিরামিক চিপস, আল₂ও₃, আলএন সিরামিক সার্কিট বোর্ড, এল 2 ও 3 প্লেট অন এলইডি, সেমিকন্ডাক্টর

অ্যাপ্লিকেশনডিপিসি:

· এইচবিএলডি

· সৌর কনসেন্ট্রেটর সেলগুলির জন্য সাবস্ট্র্যাট

· অটোমোটিভ মোটর নিয়ন্ত্রণ সহ পাওয়ার সেমিকন্ডাক্টর প্যাকেজিং

· হাইব্রিড এবং ইলেকট্রিক গাড়ি পাওয়ার ম্যানেজমেন্ট ইলেকট্রনিক্স

· আরএফ প্যাকেজ

· মাইক্রোওয়েভ ডিভাইস

ডিপিসি প্রযুক্তি পারফরম্যান্স

বিভিন্ন স্তর উপাদানঃ সিরামিক (Al3O2, AlN), গ্লাস, এবং Si

• উৎপাদন খরচ অনেক কম।
• তাপীয় ব্যবস্থাপনা এবং তাপ স্থানান্তর কর্মক্ষমতা অসামান্য
• সঠিক সারিবদ্ধতা এবং প্যাটার্ন ডিজাইন
• শক্তিশালী ধাতবীকরণ সংযুক্তি

বৈশিষ্ট্যঃ

• উচ্চ সঞ্চালন প্রতি চক্র 2.2 m2 পর্যন্ত সিরামিক সাবস্ট্র্যাট;
• শক্তিশালী গরম-আপ ডিভাইস এবং প্লাজমা উৎস পরিষ্কার সঙ্গে শক্তিশালী আঠালো;
• কমপ্যাক্ট ডিজাইন এবং আপগ্রেড এবং রক্ষণাবেক্ষণ কাজের জন্য সহজে অ্যাক্সেসযোগ্য।
• সম্পূর্ণ স্বয়ংক্রিয়তা, পিএলসি + টাচ স্ক্রিন, এক স্পর্শ নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা।
• কম শক্তি খরচ সঙ্গে উচ্চ দক্ষতা, সর্বোচ্চ 50% উৎপাদন খরচ সঞ্চয়।

টেকনিক্যাল স্পেসিফিকেশন

• পারফরম্যান্স

1চূড়ান্ত ভ্যাকুয়াম চাপঃ ৯.০*১০ এর চেয়ে ভালো^-5বাবা;

• বেস ভ্যাকুয়াম চাপঃ 3.0*10^-2বাবা

3. নিচে পাম্পিং সময়ঃ এটিএম থেকে 1.0 × 10^-3Pa≤15 মিনিট (কক্ষ তাপমাত্রা, শুষ্ক, পরিষ্কার এবং খালি চেম্বার)

4. অবসারণ উৎসঃ জেনকোয়া ম্যাগনেট্রন স্পটারিং ক্যাথোড, পরিচালিত আর্ক ক্যাথোড, আয়ন উৎস

5অপারেটিং মডেলঃ সম্পূর্ণ স্বয়ংক্রিয় / আধা স্বয়ংক্রিয় / ম্যানুয়াল

6. গরম করাঃ ঘরের তাপমাত্রা থেকে সর্বোচ্চ 500°C পর্যন্ত,

9PECVD এবং PA PVD প্রক্রিয়ার জন্য আয়ন উৎস।

• কাঠামো

ভ্যাকুয়াম লেপ মেশিনে নিচে তালিকাভুক্ত মূল সমাপ্ত সিস্টেম রয়েছেঃ

1ভ্যাকুয়াম চেম্বার

1.১ আকারঃ অভ্যন্তরীণ ব্যাসার্ধঃ ১২০০ মিমি

অভ্যন্তরীণ উচ্চতাঃ 1500mm

1.২ উপাদানঃ ভ্যাকুয়াম চেম্বার SUS304

দরজা এবং ফ্ল্যাঞ্জ SUS304

চেম্বার শক্তিশালীকরণ কাঠামোঃ SS41 হালকা ইস্পাত, পেইন্ট সমাপ্তি পৃষ্ঠ চিকিত্সা সঙ্গে।

চেম্বার চ্যাসি এসএস৪১ হালকা ইস্পাত যা পেইন্টেড ফিনিসিং পৃষ্ঠতল চিকিত্সা।

1.৩ চেম্বার শিল্ডঃ SUS304

1.4 ভিউ উইন্ডোঃ দরজা 2

1.5 ভ্যাকুয়াম চেম্বার ভেন্টিলেশন ভ্যালভ (সাইলেন্সার সহ)

1.6 দরজাঃ SUS304 উপাদান

2রাউঘিংভ্যাকুয়াম পাম্পিং সিস্টেম:

তেল ঘূর্ণনশীল ব্লেন্ড ভ্যাকুয়াম পাম্প + হোল্ডিং পাম্প
 

3. উচ্চ ভ্যাকুয়াম পাম্পিং সিস্টেম: চৌম্বকীয়ভাবে সাসপেনশন আণবিক পাম্প - 2 সেট

4বৈদ্যুতিক নিয়ন্ত্রণ এবং অপারেশন সিস্টেম- পিএলসি + টাচ স্ক্রিন অপারেশন সিস্টেমঃ

সরবরাহকারী:

পিএলসি: Mitsubishi + টাচ স্ক্রিন (মেড ইন চায়না)

ইলেকট্রনিক কম্পোনেন্ট: স্নাইডার, ওম্রন।

নিরাপত্তা সুরক্ষা ব্যবস্থাঃঅপারেটর এবং সরঞ্জাম (জল, বর্তমান গ্যাস, তাপমাত্রা ইত্যাদি) রক্ষা করার জন্য অনেক নিরাপত্তা interlocks

লেপ প্রক্রিয়া সিস্টেম: প্রসেস অটোমেশন অ্যান্ড কন্ট্রোল।

4.1 প্রধান সার্কিটঃ নন-ফিউজ ব্রেকার সুইচ, ইলেক্ট্রোম্যাগনেটিক সুইচ, সি/টি সিরিজ টাইপে

4.২ পাওয়ার সাপ্লাইঃ ডিসি/এমএফ স্পটারিং পাওয়ার + ডিসি আর্ক পাওয়ার + বায়াস পাওয়ার সাপ্লাই

4.৩ অবতরণ নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা

4.4 অপারেটিং সিস্টেমঃ টাচ স্ক্রিন + পিএলসি, রেসিপি নিয়ন্ত্রণ এবং ডেটা লগিং, স্বয়ংক্রিয়ভাবে বন্ধ, স্বয়ংক্রিয়ভাবে সরানো, স্বয়ংক্রিয়ভাবে লেপ

4.5 পরিমাপ ব্যবস্থা

ভ্যাকুয়াম চাপঃ ভ্যাকুয়াম গেজঃ পিরানি + পেনিং গেজ + ফুল রেঞ্জ ভ্যাকুয়াম গেজ -- ইউরোপ ব্র্যান্ড

তাপমাত্রা পরিমাপ যন্ত্রঃ থার্মোকপল
এমএফসিঃ ম্যাসা ফ্লো কন্ট্রোলার (৪টি উপায় ),

4.6 এলার্ম সিস্টেম: চাপযুক্ত বায়ু, শীতল জল প্রবাহ, ভুল অপারেশন

4.7 পাওয়ার লোড ইন্ডিকেটর: ভোল্টেজ ইন্ডিকেটর এবং লোড বর্তমান ইন্ডিকেটর

5ডিপোজিশন সিস্টেম

5.১ অবসানের উৎসঃ স্পটারিং ক্যাথোড + আর্ক সোর্স + আয়ন সোর্স

5.২ জমাট বাঁধার উপাদানঃ তামা, অ্যালুমিনিয়াম, ক্রোম, সিলভার, সোনার, এসএস, টাইটানিয়াম ইত্যাদি।
 

6.উপসিস্টেম

6.১ কম্প্রেসড এয়ার ভ্যালভ নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা

6.২ শীতল জল ব্যবস্থাঃজল প্রবাহ পাইপ এবং সুইচ ভালভ সিস্টেম

7. কাজের পরিবেশ

কম্প্রেসড এয়ারঃ 5~8kg/cm2

শীতল জলঃ জল-ইন তাপমাত্রাঃ 20 ~ 25 °C, 200 লিটার / মিনিট,
জল-ইন চাপঃ 2 ~ 3 কেজি / সেমি 2,

পাওয়ারঃ 3 ফেজ 380V 50Hz ((60Hz), 130kVA, গড় শক্তি খরচঃ 60KW

ইনস্টলেশন এলাকাঃ (L*W*H)4400*3200*2950mm

নিষ্কাশনঃ যান্ত্রিক পাম্পের জন্য ভেন্টিলেশন

আরো বিস্তারিত তথ্যের জন্য আমাদের সাথে যোগাযোগ করুন, রয়্যাল টেকনোলজি আপনাকে সম্পূর্ণ লেপ সমাধান প্রদান করতে সম্মানিত।