PVD + PECVD ভ্যাকুয়াম ডিপোজিশন সিস্টেম, PECVD প্রক্রিয়া দ্বারা DLC ফিল্ম লেপ

রয়্যাল টেকনোলজি মাল্টি ৯৫০
PVD + PECVD ভ্যাকুয়াম ডিপজিশন মেশিন

তিনি Multi950 মেশিনটি R&D এর জন্য একটি কাস্টমাইজড মাল্টি ফাংশন ভ্যাকুয়াম ডিপোজিশন সিস্টেম।

প্রফেসর চেনের নেতৃত্বাধীন সাংহাই বিশ্ববিদ্যালয়ের দলের সাথে তীব্র আলোচনার পর, অবশেষে আমরা তাদের গবেষণা ও উন্নয়ন অ্যাপ্লিকেশনগুলি পূরণের জন্য নকশা এবং কনফিগারেশন নিশ্চিত করেছি।এই সিস্টেমটি পিইসিভিডি প্রক্রিয়ার মাধ্যমে স্বচ্ছ ডিএলসি ফিল্ম জমা করতে সক্ষমএই পাইলট মেশিন ডিজাইন ধারণার উপর ভিত্তি করে, আমরা পরে আরও 3 টি লেপ সিস্টেম তৈরি করেছিঃ

1. ফুয়েল সেল বৈদ্যুতিক যানবাহনের জন্য বাইপোলার প্লেট লেপ- FCEV1213

2. সিরামিক ডাইরেক্ট প্লেটেড কপার- DPC1215

3নমনীয় স্পটারিং সিস্টেম- কপার পিসিবি গোল্ড প্লাটিং সিস্টেম

এই তিনটি মেশিনে একটি অষ্টভুজীয় চেম্বার রয়েছে যা বিভিন্ন অ্যাপ্লিকেশনগুলিতে নমনীয় এবং নির্ভরযোগ্য পারফরম্যান্সের অনুমতি দেয়। এটি লেপ প্রক্রিয়াগুলি সন্তুষ্ট করে এবং অনেকগুলি বিভিন্ন ধাতব স্তর প্রয়োজনঃ,Cr, Cu, Au, Ag, Ni, Sn, SS এবং অন্যান্য অনেক nonferromagnetic ধাতু.প্লাজমা ইটচিং পারফরম্যান্সের সাথে বিভিন্ন সাবস্ট্র্যাট উপকরণগুলিতে ফিল্মের আঠালো কার্যকরভাবে উন্নত করে এবং, কিছু কার্বন ভিত্তিক স্তর জমা করার জন্য PECVD প্রক্রিয়া।

মাল্টি ৯৫০ হল রয়্যাল টেকনোলজির উন্নত নকশা আবরণ সিস্টেমের মাইলফলক।সাংহাই বিশ্ববিদ্যালয়ের শিক্ষার্থী এবং অধ্যাপক ইগ্যাং চেনের কৃতজ্ঞতা যাঁরা তাঁদের সৃজনশীলতা ও নিষ্ঠার সাথে নেতৃত্ব দিয়েছেন।, আমরা যদি তার মূল্যবান তথ্যকে আধুনিক যন্ত্রের মধ্যে রূপান্তর করতে পারতাম।

২০১৮ সালে, আমরা অধ্যাপক চেনের সাথে আরেকটি প্রকল্পের সহযোগিতা করেছি,
ইন্ডাক্টিভ তাপীয় বাষ্পীভবন পদ্ধতির মাধ্যমে C-60 উপাদান জমা।
এই উদ্ভাবনী প্রকল্পগুলির জন্য মিঃ ইয়ামো ইয়াং এবং অধ্যাপক চেন মৌলিক ভূমিকা পালন করেছেন।

প্রযুক্তিগত সুবিধা

• কমপ্যাক্ট পদচিহ্ন
• স্ট্যান্ডার্ড মডুলার ডিজাইন
• নমনীয়
• নির্ভরযোগ্য
• অষ্টভুজীয় চেম্বার গঠন
• সহজ প্রবেশাধিকারের জন্য ২ দরজা কাঠামো
• পিভিডি + পিইসিভিডি প্রক্রিয়া

ডিজাইনের বৈশিষ্ট্য

1নমনীয়তাঃ আর্চ এবং স্পটারিং ক্যাথোড, আয়ন উত্স মাউন্টিং ফ্ল্যাঞ্জ নমনীয় বিনিময় জন্য মানসম্মত হয়

2. বহুমুখিতাঃ এটি বিভিন্ন বেস ধাতু এবং খাদ জমা করতে পারে; অপটিকাল লেপ, হার্ড লেপ, নরম লেপ,ধাতব ও অ-ধাতব পদার্থের স্তরগুলির উপর যৌগিক ফিল্ম এবং কঠিন তৈলাক্তকরণ ফিল্ম

3- সোজা সামনে নকশাঃ 2-দরজা কাঠামো, সহজ রক্ষণাবেক্ষণের জন্য সামনের এবং পিছনের খোলার

টেকনিক্যাল স্পেসিফিকেশন

মডেলঃ মাল্টি-৯৫০

ডিপজিশন চেম্বার (মিমি)

ব্যাসার্ধ x উচ্চতা: φ950 x 1350

ডিপজিশন সোর্সঃ 1 জোড়া এমএফ স্পটারিং ক্যাথোড

১ জোড়া পিইসিভিডি

৮ সেট আর্ক ক্যাথোড

1 সেট লিনিয়ার আইওন সোর্স

প্লাজমা অভিন্নতা অঞ্চল (মিমি): φ650 x H750

ক্যারোসেলঃ 6 xφ300

ক্ষমতা (কেডব্লিউ) বিজাসঃ 1 x 36

এমএফ স্পটারিং পাওয়ার (কেডব্লিউ): 1 x 36

পিইসিভিডি (কেডব্লিউ): ১x৩৬

আর্ক (কেডব্লিউ): ৮x৫

আইওন সোর্স (কেডব্লিউ): 1 x 5

গ্যাস কন্ট্রোল সিস্টেম MFC: 4 + 1

গরম করার সিস্টেমঃ 18KW, 500°C পর্যন্ত, তাপীয় দম্পতি PID নিয়ন্ত্রণ সঙ্গে

উচ্চ ভ্যাকুয়াম গেট ভালভঃ ২

টার্বো মোলিকুলার পাম্পঃ 2 x 2000L/S

রুট পাম্পঃ 1 x 300L/S

রোটারি ভ্যান পাম্পঃ 1 x 90 m3/h + 1 x 48 m3/h

পদচিহ্ন (L x W x H) মিমিঃ 3000 * 4000 * 3200

মোট শক্তি (কেডব্লিউ): ১৫০

বিন্যাস