রাজকীয় প্রযুক্তি মাল্টি950
——PVD + PECVD ভ্যাকুয়াম ডিপোজিশন মেশিন

তিনি মাল্টি950 মেশিন R&D এর জন্য একটি কাস্টমাইজড একাধিক ফাংশন ভ্যাকুয়াম ডিপোজিশন সিস্টেম।

প্রফেসর চেনের নেতৃত্বে সাংহাই ইউনিভার্সিটির দলের সাথে তীব্র আদান-প্রদানের পর, আমরা অবশেষে তাদের R&D অ্যাপ্লিকেশনগুলি পূরণ করার জন্য ডিজাইন এবং কনফিগারেশন নিশ্চিত করেছি।এই সিস্টেমটি PECVD প্রক্রিয়ার সাথে স্বচ্ছ ডিএলসি ফিল্ম, সরঞ্জামগুলিতে শক্ত আবরণ এবং স্পুটারিং ক্যাথোড সহ অপটিক্যাল ফিল্ম জমা করতে সক্ষম।এই পাইলট মেশিন ডিজাইন ধারণার উপর ভিত্তি করে, আমরা পরবর্তীতে 3টি অন্যান্য আবরণ সিস্টেম তৈরি করেছি:

1. ফুয়েল সেল ইলেকট্রিক যানবাহনের জন্য বাইপোলার প্লেট আবরণ- FCEV1213

2. সিরামিক ডাইরেক্ট প্লেটেড কপার- DPC1215

3. নমনীয় স্পুটারিং সিস্টেম- কপার পিসিবি গোল্ড প্লেটিং সিস্টেম

এই 3টি মেশিনে একটি অষ্টভুজাকার চেম্বার রয়েছে, যা বিভিন্ন অ্যাপ্লিকেশনগুলিতে নমনীয় এবং নির্ভরযোগ্য পারফরম্যান্সের অনুমতি দেয়।এটি আবরণ প্রক্রিয়াগুলিকে সন্তুষ্ট করে এবং বিভিন্ন ধাতব স্তরের প্রয়োজন হয়: Al, Cr, Cu, Au, Ag, Ni, Sn, SS এবং অন্যান্য অনেক অ লৌহচুম্বকীয় ধাতু।প্লাস আয়ন সোর্স ইউনিট, প্লাজমা এচিং পারফরম্যান্স এবং কিছু কার্বন-ভিত্তিক স্তর জমা করার জন্য PECVD প্রক্রিয়ার সাহায্যে বিভিন্ন সাবস্ট্রেট উপকরণে ফিল্ম আনুগত্যকে দক্ষতার সাথে উন্নত করে।

মাল্টি950 হল রয়্যাল টেকনোলজির জন্য উন্নত ডিজাইনের আবরণ সিস্টেমের মাইলফলক।সাংহাই ইউনিভার্সিটির ছাত্রদের ধন্যবাদ এবং প্রফেসর ইগাং চেন তার সৃজনশীল এবং নিঃস্বার্থ নিষ্ঠার সাথে তাদের নেতৃত্ব দিচ্ছেন, আমরা কি তার মূল্যবান তথ্যকে একটি অত্যাধুনিক মেশিনে রূপান্তর করতে সক্ষম হয়েছি।

2018 সালে, আমাদের অধ্যাপক চেনের সাথে আরেকটি প্রকল্প সহযোগিতা ছিল,
ইন্ডাকটিভ তাপীয় বাষ্পীভবন পদ্ধতি দ্বারা C-60 উপাদান জমা।
জনাব Yimou ইয়াং এবং প্রফেসর চেন এই উদ্ভাবনী প্রকল্পগুলির জন্য মৌলিক ছিলেন।

প্রযুক্তিগত সুবিধা

• কমপ্যাক্ট ফুটপ্রিন্ট
• স্ট্যান্ডার্ড মডুলার ডিজাইন
• নমনীয়
• নির্ভরযোগ্য
• অষ্টভুজাকার চেম্বারের কাঠামো
• সহজ অ্যাক্সেসের জন্য 2-দরজা কাঠামো
• PVD + PECVD প্রক্রিয়া

নকশা বৈশিষ্ট্য

1. নমনীয়তা: আর্ক এবং স্পুটারিং ক্যাথোড, আয়ন উত্স মাউন্টিং ফ্ল্যাঞ্জগুলি নমনীয় বিনিময়ের জন্য প্রমিত

2. বহুমুখিতা: এটি বিভিন্ন ধরনের বেস ধাতু এবং সংকর ধাতু জমা করতে পারে;অপটিক্যাল আবরণ, শক্ত আবরণ, নরম আবরণ, যৌগিক ফিল্ম এবং ধাতব এবং অ ধাতব পদার্থের সাবস্ট্রেটে শক্ত লুব্রিকেটিং ফিল্ম

3. সোজা সামনের নকশা: 2-দরজা কাঠামো, সহজ রক্ষণাবেক্ষণের জন্য সামনে এবং পিছনে খোলা

প্রযুক্তিগত বিবরণ

মডেল: মাল্টি-950

ডিপোজিশন চেম্বার (মিমি)

ব্যাস x উচ্চতা: φ950 x 1350

জমার উৎস: 1 জোড়া MF স্পুটারিং ক্যাথোড

1 জোড়া PECVD

8 সেট আর্ক ক্যাথোড

1 সেট লিনিয়ার আয়ন উৎস

প্লাজমা ইউনিফরমিটি জোন (মিমি): φ650 x H750

ক্যারোজেল: 6 xφ300

ক্ষমতা (KW) বায়াস: 1 x 36

MF স্পুটারিং পাওয়ার (KW): 1 x 36

PECVD (KW): 1 x36

চাপ (KW): 8 x 5

আয়ন উৎস (KW): 1 x 5

গ্যাস কন্ট্রোল সিস্টেম এমএফসি: 4 + 1

হিটিং সিস্টেম: 18KW, 500℃ পর্যন্ত, তাপীয় দম্পতি পিআইডি নিয়ন্ত্রণ সহ

উচ্চ ভ্যাকুয়াম গেট ভালভ: 2

টার্বো আণবিক পাম্প: 2 x 2000L/S

রুট পাম্প: 1 x 300L/S

রোটারি ভ্যানেস পাম্প: 1 x 90 m³/h + 1 x 48 m³/h

পদচিহ্ন (L x W x H) মিমি: 3000 * 4000 * 3200

মোট শক্তি (KW): 150

লেআউট