ডিসি বিশুদ্ধ ধাতু ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং ডিপোজিশন মেশিন, কপার/সিলভার/সোনা/গ্রাফাইট অতি পাতলা ফিল্ম ডিপোশন মেশিন

কর্মক্ষমতা

1. চূড়ান্ত ভ্যাকুয়াম চাপ: 5.0x10 এর চেয়ে ভাল^-6টর.

2. অপারেটিং ভ্যাকুয়াম চাপ: 1.0×10^-4টর.

3. পাম্পিংডাউন সময়: 1 atm থেকে 1.0×10 পর্যন্ত^-4Torr≤ 3 মিনিট (ঘরের তাপমাত্রা, শুকনো, পরিষ্কার এবং খালি চেম্বার)

4. ধাতব পদার্থ (স্পটারিং + আর্ক বাষ্পীভবন): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr ইত্যাদি।

5. অপারেটিং মডেল: সম্পূর্ণ স্বয়ংক্রিয়ভাবে/সেমি-অটো/ম্যানুয়ালি

গঠন

ভ্যাকুয়াম লেপ মেশিনে নীচে তালিকাভুক্ত কী সম্পন্ন সিস্টেম রয়েছে:

1. ভ্যাকুয়াম চেম্বার

2. রুহিং ভ্যাকুয়াম পাম্পিং সিস্টেম (ব্যাকিং পাম্প প্যাকেজ)

3. উচ্চ ভ্যাকুয়াম পাম্পিং সিস্টেম (চৌম্বকীয়ভাবে সাসপেনশন মলিকুলার পাম্প)

4. বৈদ্যুতিক নিয়ন্ত্রণ এবং অপারেশন সিস্টেম

5. অক্সিলিয়ারি ফ্যাসিলিটি সিস্টেম (সাব সিস্টেম)

6. জমা ব্যবস্থা

কপার স্পুটারিং লেপ মেশিনের মূল বৈশিষ্ট্য

1. 8 স্টিয়ার আর্ক ক্যাথোড এবং ডিসি স্পুটারিং ক্যাথোড, এমএফ স্পুটারিং ক্যাথোড, আয়ন সোর্স ইউনিট দিয়ে সজ্জিত।

2. মাল্টিলেয়ার এবং কো-ডিপোজিশন লেপ উপলব্ধ

3. প্লাজমা ক্লিনিং প্রাক-চিকিৎসার জন্য আয়ন উৎস এবং ফিল্ম আনুগত্য বাড়ানোর জন্য আয়ন-রশ্মি সহায়ক জমা।

4. সিরামিক/ Al2O3/AlN সাবস্ট্রেট গরম করার ইউনিট;

5. সাবস্ট্রেট ঘূর্ণন এবং বিপ্লব সিস্টেম, 1-পার্শ্বের আবরণ এবং 2-পার্শ্বের আবরণের জন্য।

সিরামিক রেডিয়টিং সাবস্ট্রেটের উপর কুপার ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং লেপ প্ল্যান্ট

ডিপিসি প্রসেস- ডাইরেক্ট প্লেটিং কপার হল এলইডি/সেমিকন্ডাক্টর/ইলেকট্রনিক শিল্পে প্রয়োগ করা একটি উন্নত আবরণ প্রযুক্তি।একটি সাধারণ অ্যাপ্লিকেশন হল সিরামিক বিকিরণকারী সাবস্ট্রেট।

PVD ভ্যাকুয়াম স্পুটারিং প্রযুক্তি দ্বারা Al2O3, AlN সাবস্ট্রেটের উপর কুপার পরিবাহী ফিল্ম জমা, ঐতিহ্যগত উত্পাদন পদ্ধতির সাথে তুলনা করে: DBC LTCC HTCC, অনেক কম উৎপাদন খরচ এর উচ্চ বৈশিষ্ট্য।

রয়্যাল টেকনোলজি টিম আমাদের গ্রাহককে PVD স্পাটারিং প্রযুক্তির সাথে সফলভাবে DPC প্রক্রিয়া তৈরি করতে সহায়তা করেছে।

RTAC1215-SP মেশিনটি সিরামিক চিপস, সিরামিক সার্কিট বোর্ডে কপার পরিবাহী ফিল্মের আবরণের জন্য একচেটিয়াভাবে ডিজাইন করা হয়েছে।

আরও স্পেসিফিকেশনের জন্য আমাদের সাথে যোগাযোগ করুন, রাজকীয় প্রযুক্তি আপনাকে মোট আবরণ সমাধান প্রদানের জন্য সম্মানিত।