কীওয়ার্ডস: ডাইরেক্ট প্লাটেড অ্যালুমিনিয়াম পণ্য, পিইসিভিডি প্রক্রিয়া, ডিএলসি ফিল্ম, ডায়মন্ড লাইক কার্বন ফিল্ম, স্পুতিং অপটিকাল ফিল্ম, জেনকোয়া ম্যাগনেট্রন স্পুতিং ক্যাথোড, আয়ন উত্স, পিএ পিভিডি
আরটিএসি 950-এসপি ডিজাইনের বৈশিষ্ট্যগুলি:
প্রযুক্তিগত বিবরণ
1. চূড়ান্ত ভ্যাকুয়াম চাপ: 8.0 * 10 - 4 পা এর চেয়ে ভাল;
৩.পাম্পিং টাইম: এটিএম থেকে 1.0 × 10 - 3 Pa≤15 মিনিট (ঘরের তাপমাত্রা, শুকনো, পরিষ্কার এবং খালি চেম্বার)
৪. জমানার উত্স: জেনকোয়া ম্যাগনেট্রন স্পুতিং ক্যাথোডস, স্টিয়ার্ডড আর্ক ক্যাথোডস, আয়ন উত্স
৫. অপারেটিং মডেল: সম্পূর্ণ স্বয়ংক্রিয়ভাবে / আধা-অটো / ম্যানুয়ালি
6. উত্তাপ: ঘরের তাপমাত্রা থেকে সর্বোচ্চ। 500 ℃,
9. PECVD এবং PA PVD প্রক্রিয়া জন্য আয়ন উত্স।
ভ্যাকুয়াম লেপ মেশিনে নীচে তালিকাভুক্ত কী সম্পন্ন সিস্টেম রয়েছে:
1. ভ্যাকুয়াম চেম্বার
1.1 আকার: অভ্যন্তরীণ গভীরতা 950 মিমি
অভ্যন্তরীণ উচ্চতা: 1350 মিমি
1.2 উপাদান: ভ্যাকুয়াম চেম্বার SUS304
দরজা এবং flanges SUS304
চেম্বার কাঠামো শক্তিশালী: এসএস 41 হালকা ইস্পাত, রঙযুক্ত সমাপ্তি পৃষ্ঠের চিকিত্সা সহ।
পেইন্টিং সমাপ্তি পৃষ্ঠের চিকিত্সা সহ চেম্বার চ্যাসিস এস এস 41 মাইল স্টিল।
1.3 চেম্বার শিল্ড: SUS304
1.4 উইন্ডো দেখুন: চেম্বার দরজা -2
1.5 ভ্যাকুয়াম চেম্বার ভেন্টিং ভালভ (সাইলেন্সার সহ)
1.6 দরজা: 2 সেট, সামনে এবং পিছনে, SUS304 উপাদান
2. রুক্ষ ভ্যাকুয়াম পাম্পিং সিস্টেম:
তেল রোটারি ভ্যান ভ্যাকুয়াম পাম্প + হোল্ডিং পাম্প
3. উচ্চ ভ্যাকুয়াম পাম্পিং সিস্টেম:
টার্বো আণবিক পাম্প - 2 সেট
4. বৈদ্যুতিক নিয়ন্ত্রণ এবং অপারেশন সিস্টেম- পিএলসি + টাচ স্ক্রিন অপারেটিং সিস্টেম:
সরবরাহকারীদের:
পিএলসি: মিতসুবিশি, মডেল: FX-IN60MR-001 সিরিজ
বৈদ্যুতিন উপাদান: SCHNEIDER, OMRON।
সুরক্ষা সুরক্ষা ব্যবস্থা: অপারেটর এবং সরঞ্জামগুলি (জল, বর্তমান গ্যাস, তাপমাত্রা ইত্যাদি) রক্ষা করতে অসংখ্য সুরক্ষা ইন্টারলক করে
লেপ প্রক্রিয়া সিস্টেম : প্রক্রিয়া অটোমেশন এবং নিয়ন্ত্রণ। 3 মাসের জন্য স্বয়ংক্রিয়ভাবে মেমরিতে সংরক্ষিত। বৈশিষ্ট্যযুক্ত আবরণ রেসিপি ডেটা: লক্ষ্য অপারেশন বর্তমান / ভোল্টেজ, ভর প্রবাহ, ভ্যাকুয়াম চাপ, তাপমাত্রা, আবরণ সময় আবরণ মান উন্নত করার জন্য একটি বিশ্লেষণের জন্য সংরক্ষণ করা হয়।
৪.১ প্রধান সার্কিট: নন-ফিউজ ব্রেকার সুইচ, তড়িৎ চৌম্বকীয় সুইচ, সিরিজের ধরণে সি / টি
৪.২ পাওয়ার সাপ্লাই: এমএফ স্পুটারিং পাওয়ার + ডিসি আর্ক পাওয়ার + বায়াস পাওয়ার সাপ্লাই
৪.৩ জমানো নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা
৪.৪ অপারেশন সিস্টেম: টাচ স্ক্রিন + পিএলসি, রেসিপি নিয়ন্ত্রণ এবং ডেটা লগিং, অটো শাটডাউন, স্বয়ংক্রিয় স্থানান্তর, অটো লেপ
4.5 পরিমাপ সিস্টেম
ভ্যাকুয়াম চাপ: ভ্যাকুয়াম গেজ: পিরানী + পেনিং গেজ + সম্পূর্ণ পরিসর ভ্যাকুয়াম গেজ - ইউরোপ ব্র্যান্ড
তাপমাত্রা পরিমাপকরণ ডিভাইস: থার্মোকল
এমএফসি: ভর ফ্লো কন্ট্রোলার (4 টি উপায়),
4.6 অ্যালার্ম সিস্টেম: সংকুচিত বায়ুচাপ, শীতল জল প্রবাহ, মিস-অপারেশন
4.7 পাওয়ার লোড সূচক: ভোল্টেজ সূচক এবং লোড বর্তমান সূচক
৫ । ডিপোজিশন সিস্টেম
5.1 জমার উত্স: স্পটরিং ক্যাথোডগুলি + আর্ক উত্সগুলি + আয়ন উত্স
5.2 জমার উপাদান: আইটিও, টাইটানিয়াম, ক্রোম, অ্যালুমিনিয়াম, স্টেইনলেস স্টিল, টিআইএল ইত্যাদি
6. উপ-সিস্টেম
.1.১ এয়ার কমপ্রেড ভালভ কন্ট্রোল সিস্টেম
6.2 শীতল জল সিস্টেম: জল প্রবাহ পাইপ এবং স্যুইচ ভালভ সিস্টেম
7. কার্যকারী পরিবেশ
সংক্ষিপ্ত এয়ার: 5 ~ 8 কেজি / সেমি 2
শীতল জল: জল-তাপমাত্রা: 20 ~ 25 ℃, 200 লিটার / মিনিট,
জল-মধ্যে চাপ: 2 ~ 3 কেজি / সেমি 2,
পাওয়ার: 3 ফেজ 380V 50Hz (60Hz), 130kVA, গড় বিদ্যুত খরচ: 60KW
ইনস্টলেশন অঞ্চল: (এল * ডাব্লু * এইচ) 4400 * 3200 * 2950 মিমি
অবসন্ন: যান্ত্রিক পাম্পের জন্য ভেন্ট
আরও নির্দিষ্টকরণের জন্য দয়া করে আমাদের সাথে যোগাযোগ করুন, রয়্যাল টেকনোলজি আপনাকে মোট লেপ সমাধান সরবরাহ করার জন্য সম্মানিত।