![]() |
ব্র্যান্ড নাম: | ROYAL |
মডেল নম্বর: | RTAS1250 |
MOQ: | 10 সেট |
মূল্য: | আলোচনাযোগ্য |
অর্থ প্রদানের শর্তাবলী: | এল/সি, ডি/এ, ডি/পি, টি/টি |
সরবরাহের ক্ষমতা: | প্রতি মাসে 6 সেট |
টিন গোল্ড ধাতু মিড-ফ্রিকোয়েন্সি ম্যাগনেট্রন স্পটারিং লেপ মেশিন / এমএফ স্পটারিং সিস্টেম
ম্যাগনেট্রন স্পটারিং ভ্যাকুয়াম লেপ হল একটি ধরনের পিভিডি আইওন প্লাটিং পৃষ্ঠ চিকিত্সা পদ্ধতি। এটি অনেক ধরণের উপকরণগুলিতে পরিবাহী বা অ-পরিবাহী ফিল্ম উত্পাদনের জন্য ব্যবহার করা যেতে পারেঃ ধাতু,গ্লাস, সিরামিক, প্লাস্টিক, ধাতু খাদ। স্পট্রিং জমা ধারণাঃ লেপ উপাদান (লক্ষ্য, এছাড়াও ক্যাথোড নামক) এবং কাজ টুকরা (substrate,এছাড়াও anode বলা হয়) ভ্যাকুয়াম চেম্বারে স্থাপন করা হয় এবং চাপ হ্রাস করা হয়স্পট্রিং শুরু হয় লক্ষ্যবস্তুকে ভোল্টেজ ডিফারেনশিয়ালের অধীনে স্থাপন করে এবং আর্গন গ্যাস প্রবর্তন করে যা আর্গন আয়ন গঠন করে (গ্লো স্রাব) ।আর্গন আয়নগুলি প্রক্রিয়া লক্ষ্যবস্তুর দিকে ত্বরান্বিত হয় এবং লক্ষ্য পরমাণুগুলি স্থানান্তর করে. এই স্পটারিং পরমাণুগুলি তারপরে স্তরটিতে ঘনীভূত হয় এবং খুব পাতলা এবং উচ্চ অভিন্নতার স্তর গঠন করে। বিভিন্ন রঙগুলি প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাস যেমন নাইট্রোজেন, অক্সিজেন,অথবা লেপ প্রক্রিয়ার সময় এসিটিলিনকে স্পটার গ্যাসে পরিণত করে.
ম্যাগনেট্রন স্পটারিং মডেলঃ ডিসি স্পটারিং, এমএফ স্পটারিং, আরএফ স্পটারিং
এমএফ স্পটারিং কি?
ডিসি এবং আরএফ স্পট্রিংয়ের তুলনায়, মিড-ফ্রিকোয়েন্সি স্পট্রিং লেপের ভর উত্পাদনের জন্য একটি প্রধান পাতলা ফিল্ম স্পট্রিং কৌশল হয়ে উঠেছে,বিশেষ করে অপটিক্যাল লেপের মতো পৃষ্ঠের উপর ডায়েলক্ট্রিক এবং অ-পরিবাহী ফিল্ম লেপগুলির ফিল্ম জমা দেওয়ার জন্যসৌর প্যানেল, মাল্টি লেয়ার, কম্পোজিট ফিল্ম ইত্যাদি।
এটি আরএফ স্পটারিংয়ের প্রতিস্থাপন করছে কারণ এটি ডিসির মতো যৌগিক পাতলা ফিল্ম জমাট বাঁধার সময় টার্গেট বিষাক্ততা এড়াতে পারে।
এমএফ স্পটারিং টার্গেট সবসময় দুই সেট সঙ্গে বিদ্যমান ছিল। Two cathodes are used with an AC current switched back and forth between them which cleans the target surface with each reversal to reduce the charge build up on dielectrics that leads to arcing which can spew droplets into the plasma and prevent uniform thin film growth--- which is what we called Target Poisoning.
এমএফ স্পটারিং সিস্টেমের পারফরম্যান্স
1. চূড়ান্ত ভ্যাকুয়াম চাপঃ 5.0×10 এর চেয়ে ভাল-6টর।
2অপারেটিং ভ্যাকুয়াম চাপঃ ১.০×১০-4টর।
3. পাম্পিং ডাউন টাইমঃ ১ এটম থেকে ১.০×১০-4Torr≤ 3 মিনিট (কক্ষ তাপমাত্রা, শুষ্ক, পরিষ্কার এবং খালি চেম্বার)
4ধাতবীকরণ উপাদান (স্পটারিং + আর্ক বাষ্পীভবন): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr, TiN, TiC, TiAlN, CrN, CrC ইত্যাদি
5অপারেটিং মডেলঃ সম্পূর্ণ স্বয়ংক্রিয় / আধা স্বয়ংক্রিয় / ম্যানুয়াল
এমএফ স্পটারিং সিস্টেমের কাঠামো
ভ্যাকুয়াম লেপ মেশিনে নিচে তালিকাভুক্ত মূল সমাপ্ত সিস্টেম রয়েছেঃ
1ভ্যাকুয়াম চেম্বার
2. রুহিং ভ্যাকুয়াম পাম্পিং সিস্টেম (ব্যাকিং পাম্প প্যাকেজ)
3. উচ্চ ভ্যাকুয়াম পাম্পিং সিস্টেম (ম্যাগনেটিক্যাল সাসপেনশন মোলিকুলার পাম্প)
4বৈদ্যুতিক নিয়ন্ত্রণ ও অপারেশন সিস্টেম
5. সহায়ক সুবিধা সিস্টেম (সাবসিস্টেম)
6. ডিপোজিশন সিস্টেমঃ এমএফ স্পটারিং ক্যাথোড, এমএফ পাওয়ার সাপ্লাই, অপশনাল জন্য বিয়াস পাওয়ার সাপ্লাই আইওন উৎস
এমএফ স্পটারিং সিস্টেম RTSP1212-MF স্পেসিফিকেশন
মডেল | RTSP1212-MF | ||||||
টেকনোলজি | এমএফ ম্যাগনেট্রন স্পটটিং + আইওন প্লাটিং | ||||||
উপাদান | স্টেইনলেস স্টীল (S304) | ||||||
চেম্বারের আকার | Φ1250*H1250 মিমি | ||||||
চেম্বার টাইপ | সিলিন্ডার, উল্লম্ব, এক-দরজা | ||||||
স্পুটারিং সিস্টেম | শুধুমাত্র পাতলা কালো ফিল্ম জমা করার জন্য ডিজাইন | ||||||
ডিপোজিশন উপাদান | অ্যালুমিনিয়াম, সিলভার, তামা, ক্রোম, স্টেইনলেস স্টীল, নিকেল |
||||||
ডিপোজিশনের উৎস | 2 সেট এমএফ সিলিন্ড্রিকাল স্পটটিং টার্গেট + 8 স্টিয়ারড ক্যাথডিক আর্ক উত্স | ||||||
গ্যাস | এমএফসি-৪, আর, এন২, ও২, সি২এইচ২ | ||||||
নিয়ন্ত্রণ | পিএলসি ((প্রোগ্রামযোগ্য লজিক কন্ট্রোলার) + | ||||||
পাম্প সিস্টেম | এসভি৩০০বি - ১টি সেট (লেয়বোল্ড) | ||||||
WAU1001 - ১টি সেট (Leybold) | |||||||
D60T- ২ সেট (লেইবোল্ড) | |||||||
টার্বো মোলিকুলার পাম্পঃ 2* F-400/3500 | |||||||
প্রাক চিকিত্সা | বায়াস পাওয়ার সাপ্লাইঃ 1*36 KW | ||||||
নিরাপত্তা ব্যবস্থা | অপারেটরদের সুরক্ষার জন্য অনেকগুলি সুরক্ষা ইন্টারলক | ||||||
ঠান্ডা | ঠান্ডা পানি | ||||||
বিদ্যুৎ | 480V/3 ফেজ/60HZ (মার্কিন যুক্তরাষ্ট্রের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ) | ||||||
460V/3 ফেজ/50HZ (এশিয়া সম্মত) | |||||||
380V/3 ফেজ/50HZ (ইইউ-সিই-সম্মত) | |||||||
ফুটপ্রিন্ট | L3000*W3000*H2000 মিমি | ||||||
মোট ওজন | 7.0 টি | ||||||
ফুটপ্রিন্ট | (L*W*H) 5000*4000*4000 MM | ||||||
চক্র সময় | ৩০-৪০ মিনিট (সাবস্ট্রেট উপাদান অনুযায়ী, সাবস্ট্র্যাট জ্যামিতি এবং পরিবেশগত অবস্থা) |
||||||
পাওয়ার ম্যাক্স... | ১৫৫ কিলোওয়াট | ||||||
গড় শক্তি |
৭৫ কিলোওয়াট |
আপনার পছন্দের আরো মডেল আছে!
আরো বিস্তারিত তথ্যের জন্য আমাদের সাথে যোগাযোগ করুন, রয়্যাল টেকনোলজি আপনাকে সম্পূর্ণ লেপ সমাধান প্রদান করার জন্য সম্মানিত।